[특허]정전척

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/687
출원번호	10-2009-0095279 (2009-10-07)
등록번호	10-1016612-0000 (2011-02-15)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020090095279
발명자 / 주소	김혜란 / 경기 용인시 포곡면 마성리 *- (/) 전영재 / 경기도 용인시 처인구 고림동 ** 예원마을 코아루아파트 -***
출원인 / 주소	주식회사 템네스트 / 경기 수원시 영통구 영통동 **- 훼미리타워 ****
대리인 / 주소	한라특허법인
심사청구여부	있음 (2009-10-07)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 정전척에 관한 것으로서, 정전척 몸체의 재질을 개선하여 온도 변화에 따른 정전척 몸체의 팽창 및 수축으로 인해 발생하는 정전 절연막의 균열을 효과적으로 방지할 수 있는 정전척에 관한 것이다. 종래에는 정전척 몸체와 세라믹 막인 정전 절연막 간의 열팽창 및 수축의 차이가 과다하여 정전척의 온도 제어 및 급격한 온도 변화시에 정전 절연막이 쉽게 균열되거나 손상되는 문제점이 있었는 바, 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 정전척 몸체에 세라믹 막인 정전 절연막이 형성된 정전척에 있어서, 상기 정전척 몸체가 금속에 세라믹 또는 탄

대표청구항

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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