초록 ▼

본 발명은 전도성 박막 재료의 두께 측정 시 박막재료의 비저항을 면저항으로 나누는 원리를 이용하는 것으로서, 박막의 면저항을 측정한 후 박막의 두께를 측정할 수 있도록 하는 박막 두께 측정 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 4-탐침이 구비되고, 박막 재료에 접촉 설치되는 4-탐침 프로브; 상기 4-탐침 프로브로 전류를 인가하는 전류 인가수단; 상기 4-탐침 프로브로부터 전압을 측정하는 전압 측정수단; 상기 전류 인가수단에서 인가되는 전류와 상기 전압 측정수단에서 측정된 전압을 근거로 상기 박막 재료의 면저항을 연산한 후 하기의

본 발명은 전도성 박막 재료의 두께 측정 시 박막재료의 비저항을 면저항으로 나누는 원리를 이용하는 것으로서, 박막의 면저항을 측정한 후 박막의 두께를 측정할 수 있도록 하는 박막 두께 측정 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 4-탐침이 구비되고, 박막 재료에 접촉 설치되는 4-탐침 프로브; 상기 4-탐침 프로브로 전류를 인가하는 전류 인가수단; 상기 4-탐침 프로브로부터 전압을 측정하는 전압 측정수단; 상기 전류 인가수단에서 인가되는 전류와 상기 전압 측정수단에서 측정된 전압을 근거로 상기 박막 재료의 면저항을 연산한 후 하기의 식에 따라 박막 재료의 두께를 연산하는 연산수단;을 구비하여 이루어진다.t = ρ/Rs [m]여기서, t는 박막 재료 두께, ρ는 박막 재료 비저항, Rs는 박막 재료 면저항

대표청구항 ▼

4-탐침이 구비되고, 박막 재료에 접촉 설치되는 4-탐침 프로브;상기 4-탐침 프로브에 전류를 인가하는 전류 인가수단;상기 4-탐침 프로브로부터 전압을 측정하는 전압 측정수단;박막 재료의 비저항(ρ) 정보가 기록되는 메모리;상기 전류 인가수단에서 인가되는 전류와 상기 전압 측정수단에서 측정된 전압을 근거로 상기 박막 재료의 면저항(Rs)을 연산한 후 하기의 식1에 따라 박막 재료의 두께를 연산 처리하는 연산수단;을 구비하여 이루어지는 박막 두께 측정 장치.식1) t = ρ/Rs [m] 여기서, t는 박막 재료 두께, ρ는 박막 재료

4-탐침이 구비되고, 박막 재료에 접촉 설치되는 4-탐침 프로브;상기 4-탐침 프로브에 전류를 인가하는 전류 인가수단;상기 4-탐침 프로브로부터 전압을 측정하는 전압 측정수단;박막 재료의 비저항(ρ) 정보가 기록되는 메모리;상기 전류 인가수단에서 인가되는 전류와 상기 전압 측정수단에서 측정된 전압을 근거로 상기 박막 재료의 면저항(Rs)을 연산한 후 하기의 식1에 따라 박막 재료의 두께를 연산 처리하는 연산수단;을 구비하여 이루어지는 박막 두께 측정 장치.식1) t = ρ/Rs [m] 여기서, t는 박막 재료 두께, ρ는 박막 재료 비저항, Rs는 박막 재료 면저항