초록 ▼

본 발명은 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서, 상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크와 상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치와 상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치와 상기 도금탱크

본 발명은 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서, 상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크와 상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치와 상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치와 상기 도금탱크의 상측에 승강되게 설치되되 하강시 상기 접지부에 접촉지지되는 기판이송장치로 구성되어, 공급되는 전류세기에 따른 편차나 지역적 편차가 발생되지 않아 도금층이 균일한 두께로 형성되는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서,상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크;상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치;상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치; 및상기 도금탱크의 상측에 승강되게 설치되되 하강시 상기 접지부에 접촉지지되는 기판이송장치로 구성된

전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서,상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크;상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치;상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치; 및상기 도금탱크의 상측에 승강되게 설치되되 하강시 상기 접지부에 접촉지지되는 기판이송장치로 구성된 것을 특징으로 하는 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치.