초록 ▼

본 발명의 과제는, 원하는 전류에 한층 더 가까운 전류를 기판에 인가할 수 있는 도금 장치 및 도금 방법을 제공하는 것이다.도금 장치(10)는 기판에 직류 전류를 인가하도록 구성되는 정류기(18)와, 직류 전류의 값을 정류기(18)에 지시하는 도금 장치 제어부(30)를 갖는다.도금 장치 제어부(30)는 전류값을 설정하기 위한 설정부(32)와, 정류기(18)에 지시되는 지시 전류값과 상기 지시 전류값에 따라서 정류기(18)가 출력하는 실 전류값의 관계식을 기억하는 기억부(34)와, 설정부(32)에 설정된 전류값을 상기 관계식에 기초하

본 발명의 과제는, 원하는 전류에 한층 더 가까운 전류를 기판에 인가할 수 있는 도금 장치 및 도금 방법을 제공하는 것이다.도금 장치(10)는 기판에 직류 전류를 인가하도록 구성되는 정류기(18)와, 직류 전류의 값을 정류기(18)에 지시하는 도금 장치 제어부(30)를 갖는다.도금 장치 제어부(30)는 전류값을 설정하기 위한 설정부(32)와, 정류기(18)에 지시되는 지시 전류값과 상기 지시 전류값에 따라서 정류기(18)가 출력하는 실 전류값의 관계식을 기억하는 기억부(34)와, 설정부(32)에 설정된 전류값을 상기 관계식에 기초하여 보정하여 보정 전류값을 산출하는 산출부(34)와, 산출부(34)에 의해 산출된 보정 전류값을 정류기(18)에 지시하는 지시부(36)를 갖는다.

대표청구항

기판에 도금하기 위한 도금 장치이며,상기 기판에 직류 전류를 인가하기 위한 정류기와,직류 전류의 값을 상기 정류기에 지시하기 위한 도금 장치 제어부를 갖고,상기 도금 장치 제어부는,전류값을 설정하기 위한 설정부와,상기 정류기에 지시되는 지시 전류값과 상기 지시 전류값에 따라서 상기 정류기가 출력하는 실 전류값의 관계식을 기억하기 위한 기억부와,상기 설정된 전류값을 상기 관계식에 기초하여 보정하여 보정 전류값을 산출하기 위한 산출부와,상기 보정 전류값을 상기 정류기에 지시하기 위한 지시부를 갖는, 도금 장치.

기판에 도금하기 위한 도금 장치이며,상기 기판에 직류 전류를 인가하기 위한 정류기와,직류 전류의 값을 상기 정류기에 지시하기 위한 도금 장치 제어부를 갖고,상기 도금 장치 제어부는,전류값을 설정하기 위한 설정부와,상기 정류기에 지시되는 지시 전류값과 상기 지시 전류값에 따라서 상기 정류기가 출력하는 실 전류값의 관계식을 기억하기 위한 기억부와,상기 설정된 전류값을 상기 관계식에 기초하여 보정하여 보정 전류값을 산출하기 위한 산출부와,상기 보정 전류값을 상기 정류기에 지시하기 위한 지시부를 갖는, 도금 장치.