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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2009-0113850 (2009-11-24) |
| 공개번호 | 10-2011-0057440 (2011-06-01) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020090113850 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2009-11-24) |
| 심사진행상태 | 거절결정(일반) |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 반도체 생산 라인에서, 반도체 웨이퍼를 여러 공정의 설비 간에 반송시키는 과정에서 과도한 압축력이 웨이퍼 및 링 프레임에 걸려 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 파손 방지용 웨이퍼 반송 장치에 관한 것으로, 웨이퍼 반송 장치의 이송 아암이 다음 공정으로 웨이퍼를 이송하는 과정에서 상기 이송 아암으로부터 웨이퍼 및 링 프레임에 가해지는 외력의 변화를 감지할 수 있도록 소정의 압력 이상에 반응하는 완충기와 접촉 감지형 센서 등이 조합된 형태의 파손방지부를 이송 아암과 플레이트 사이에 형성하여 과도한 힘이 웨이퍼 및 링
이송하고자 하는 링 프레임을 고정하는 고정단과, 상기 링 프레임이 이송하도록 구동되는 이송 아암을 포함하며,상기 이송 아암의 일측면에 형성된 제1측벽과;상기 제1측벽과 인접한 상기 이송 아암의 타측면에 슬라이딩 구동하며, 상기 고정단과 일체로 결합된 슬라이딩 부재와;상기 슬라이딩 부재의 일단에 형성된 제2측벽과;상기 제1측벽과 상기 제2측벽 사이에 고정된 완충기와;상기 슬라이딩 부재의 슬라이딩 구동을 감지하는 센서로; 이루어지는 파손 방지부를 포함하는 파손 방지용 웨이퍼 반송 장치.
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