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반도체 패키지 절삭잔류물 제거장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
  • H01L-021/304
  • H01L-021/67
출원번호 10-2019-0168681 (2019-12-17)
등록번호 10-2149114-0000 (2020-08-21)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190168681
발명자 / 주소
  • 황성일 / 경기도 수원시 영통구 광교호수공원로 *** ,***동****호(원천동중흥S클래스)
출원인 / 주소
  • (주)네온테크 / 경기도 안양시 동안구 부림로 *** (관양동,네온테크)
대리인 / 주소
  • 특허법인 강인
심사청구여부 있음 (2019-12-17)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명의 반도체 패키지 절삭잔류물 제거장치는, 복수개의 반도체 패키지들이 매트릭스 형태로 배열된 스트립을 개별단위 반도체 패키지로 절단하는 절단부(10); 상기 절단부(10)로부터 절단된 개별단위 반도체 패키지(3)들을 흡착하여 흡착된 개별단위 반도체 패키지들이 하부로 향하여 수평이송가능하게 구비되는 유닛픽커(20); 및 상기 유닛픽커(20)의 하부에 위치하며 상기 유닛픽커(20)에 흡착되어 수평이송되는 개별단위 반도체 패키지들의 하부와 접하여 상기 절단부(10)에 의한 절단시 절단된 개별단위 반도체 패키지 상에 잔류하는 절삭잔류

대표청구항

복수개의 반도체 패키지들이 매트릭스 형태로 배열된 스트립을 개별단위 반도체 패키지로 절단된 개별단위 반도체 패키지(3)들을 흡착하여 흡착된 개별단위 반도체 패키지들이 하부로 향하여 수평이송가능하게 구비되는 유닛픽커(20); 및 상기 유닛픽커(20)의 하부에 위치하며 상기 유닛픽커(20)에 흡착되어 수평이송되는 개별단위 반도체 패키지들의 하부와 접하여 스트립 절단시 절단된 개별단위 반도체 패키지 상에 잔류하는 절삭잔류물을 세척하여 제거하는 세척부(30);을 포함하며, 상기 세척부(30)는, 상기 유닛픽커(20)의 개별단위 반도체 패키

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 반도체 패키지의 세정장치 | 황의두, 임정호
  2. [한국] 반도체 자재 절단장치 | 신현국, 장범순
  3. [일본] SUBSTRATE WASHING APPARATUS | OTANI MASAMI
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