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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0133182 (2009-12-29) |
공개번호 | 10-2011-0076464 (2011-07-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090133182 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 네가티브형 액상 포토레지스트용 조성물에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 포토레지스트의 코팅, 건조 후 표면의 미끄러짐 성질을 부여하여 연속공정(in-line)에 적용할 수 있고, 동시에 소포성도 부여하여 기포를 안정화 시키는데 장시간이 필요하지 않으면서 코팅 후 기포에 의한 핀홀(pin hole) 등의 문제를 방지하는 장점이 있다.
바인더 폴리머, 광중합 단량체 및 광중합 개시제를 포함하는 네가티브형 액상 포토레지스트 조성물에 있어서, 컴파운드형의 실리콘 소포제를 바인더 폴리머 100중량부를 기준으로 하여0.5 내지 8중량부 포함하는 네가티브형 액상 포토레지스트용 조성물.
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