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네가티브형 액상 포토레지스트용 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • G03F-007/004
  • G03F-007/027
출원번호 10-2009-0133182 (2009-12-29)
공개번호 10-2011-0076464 (2011-07-06)
DOI http://doi.org/10.8080/1020090133182
발명자 / 주소
  • 최종욱 / 경기도 안양시 동안구 부림동 한가람신라아파트 ***-***
  • 이병일 / 경기 수원시 영통구 영통동 청명마을*단지삼익아파트 ***-****
  • 조승제 / 경기도 용인시 구성읍 마북리 신창무궁화아파트 ***동 ***호
  • 한국현 / 경기 광주시 초월읍 쌍동리 ***번지 롯데 낙천대APT. ***-***
출원인 / 주소
  • 코오롱인더스트리 주식회사 / 경기 과천시 별양동 *-** 코오롱타워
대리인 / 주소
  • 특허법인명문
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 네가티브형 액상 포토레지스트용 조성물에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 포토레지스트의 코팅, 건조 후 표면의 미끄러짐 성질을 부여하여 연속공정(in-line)에 적용할 수 있고, 동시에 소포성도 부여하여 기포를 안정화 시키는데 장시간이 필요하지 않으면서 코팅 후 기포에 의한 핀홀(pin hole) 등의 문제를 방지하는 장점이 있다.

대표청구항

바인더 폴리머, 광중합 단량체 및 광중합 개시제를 포함하는 네가티브형 액상 포토레지스트 조성물에 있어서, 컴파운드형의 실리콘 소포제를 바인더 폴리머 100중량부를 기준으로 하여0.5 내지 8중량부 포함하는 네가티브형 액상 포토레지스트용 조성물.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 광 경화성ㆍ열 경화성 솔더 레지스트 조성물 및 이것을 사용한 인쇄 배선판 | 다이고, 요시까즈, 우시끼, 시게루
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