초록 ▼

본 발명에 의하면, 파장 245㎚의 자외광에 대한 두께 10㎜에서의 내부 투과율이 95% 이상이며, OH 함유량이 5ppm 이하, Li, Na, K, Mg, Ca, Cu의 함유량이 각각 0.1ppm 미만인 용융 석영 유리가 제공된다.바람직하게는, 이 용융 석영 유리의 1215℃에 있어서의 점성률은 1011.5㎩·s 이상이며, 또, 1050℃에서 대기 중에 24시간 방치 시의, 표면으로부터의 깊이가 20㎛를 초과하여 100㎛까지의 영역에 있어서의 Cu 이온의 확산계수가 1×10-10 ㎠/sec 이하이다.이 용융 석영 유리는, 원료 실

본 발명에 의하면, 파장 245㎚의 자외광에 대한 두께 10㎜에서의 내부 투과율이 95% 이상이며, OH 함유량이 5ppm 이하, Li, Na, K, Mg, Ca, Cu의 함유량이 각각 0.1ppm 미만인 용융 석영 유리가 제공된다.바람직하게는, 이 용융 석영 유리의 1215℃에 있어서의 점성률은 1011.5㎩·s 이상이며, 또, 1050℃에서 대기 중에 24시간 방치 시의, 표면으로부터의 깊이가 20㎛를 초과하여 100㎛까지의 영역에 있어서의 Cu 이온의 확산계수가 1×10-10 ㎠/sec 이하이다.이 용융 석영 유리는, 원료 실리카 분말을 크로스토발라이트화하고, 이어서, 비환원성 분위기 중에서 용융시킴으로써 제조된다.이 용융 석영 유리는, 자외선, 가시광선, 적외선의 투과율이 높고, 고순도이면서 내열성이 높으며, 금속 불순물의 확산속도가 작다고 하는 특성을 지니고, 각종 광학 재료, 반도체 제조용 부재, 액정 제조용 부재 등으로서 적합하다.

대표청구항

파장 245㎚의 자외광에 대한 두께 10㎜에서의 내부 투과율이 95% 이상이며, 또한 OH 함유량이 5ppm 이하, Li, Na, K, Mg, Ca, Cu의 함유량이 각각 0.1ppm 미만이고,1215℃에 있어서의 점성률은 1011.5㎩·s 이상인 것을 특징으로 하는 용융 석영 유리.

파장 245㎚의 자외광에 대한 두께 10㎜에서의 내부 투과율이 95% 이상이며, 또한 OH 함유량이 5ppm 이하, Li, Na, K, Mg, Ca, Cu의 함유량이 각각 0.1ppm 미만이고,1215℃에 있어서의 점성률은 1011.5㎩·s 이상인 것을 특징으로 하는 용융 석영 유리.