초록 ▼

본 발명은, 원통형이면서 용기 형상인 머플 내부에 구비되는 도가니와, 상기 머플 외부 측면에 원통형으로 구비된 측면 히터 및 상기 도가니 하부 혹은 머플 하부에 구비된 원판형의 하부 히터가 구비되고, 상기 측면 히터 외부에 원통형의 단열벽이 구비되며, 상기 도가니 내부에는 석영 분말을 용융하여 석영 유리를 만들 때, 진공 상태의 승온 단계, 불활성 분위기의 유지 단계, 불황성 분위기의 냉각 단계를 통하여 석영 유리를 제조하며, 상기 유지 단계에서의 시간은 1시간에서 3시간까지이고, 냉각 단계의 시간은 8시간에서 12시간이고, 냉각

본 발명은, 원통형이면서 용기 형상인 머플 내부에 구비되는 도가니와, 상기 머플 외부 측면에 원통형으로 구비된 측면 히터 및 상기 도가니 하부 혹은 머플 하부에 구비된 원판형의 하부 히터가 구비되고, 상기 측면 히터 외부에 원통형의 단열벽이 구비되며, 상기 도가니 내부에는 석영 분말을 용융하여 석영 유리를 만들 때, 진공 상태의 승온 단계, 불활성 분위기의 유지 단계, 불황성 분위기의 냉각 단계를 통하여 석영 유리를 제조하며, 상기 유지 단계에서의 시간은 1시간에서 3시간까지이고, 냉각 단계의 시간은 8시간에서 12시간이고, 냉각 단계에서의 온도 변화는 1900℃에서 200℃까지이며, 1600℃까지 온도가 상승할 때의 승온 속도는 20℃/min 이하이고, 1600℃이상에서의 승온 속도는 10℃/min 이하이며, 승온 분위기는 진공 상태이므로서, 고순도 투명 석영 유리를 불순물에 오염시키지 않고 생산성도 양호한 제조 장치를 제공하여, 불순물을 각각 5ppm 이하로 억제 할 수 있고, 석영 분말을 용융하는 과정에서도 안정된 온도구배를 유지하며, 또한 석영 용융물 내에 기포 발생을 줄일 수 있도록 하므로서 균일성이 높은 실린더형 석영 유리와 잉곳형 석영 유리를 제조할 수 있는 방법을 제공하게 된다

대표청구항 ▼

챔버가 구비되고, 챔버 내부에 원통형이면서 용기 형상인 머플이 구비되며, 상기 머플 내부에 구비되는 도가니와, 상기 머플 외부 측면에 원통형으로 구비된 측면 히터(40) 및 상기 도가니 하부 혹은 머플 하부에 구비된 원판형의 하부 히터(41)가 구비되고, 상기 도가니 내부에서는 석영 분말을 용융하여 석영 유리를 만들 때,상기 측면 히터 외부에 원통형의 단열벽이 구비되어 상기 단열벽은 챔버와 히터 사이에 구비되고, 상기 머플(30)은 도가니를 외부에서 감싸는 밀봉 구조를 가지며,상기 머플 상부에 배기구가 연결되며, 상기 배기구를 통하

챔버가 구비되고, 챔버 내부에 원통형이면서 용기 형상인 머플이 구비되며, 상기 머플 내부에 구비되는 도가니와, 상기 머플 외부 측면에 원통형으로 구비된 측면 히터(40) 및 상기 도가니 하부 혹은 머플 하부에 구비된 원판형의 하부 히터(41)가 구비되고, 상기 도가니 내부에서는 석영 분말을 용융하여 석영 유리를 만들 때,상기 측면 히터 외부에 원통형의 단열벽이 구비되어 상기 단열벽은 챔버와 히터 사이에 구비되고, 상기 머플(30)은 도가니를 외부에서 감싸는 밀봉 구조를 가지며,상기 머플 상부에 배기구가 연결되며, 상기 배기구를 통하여 진공 펌프가 진공을 만들고, 상기 측면 히터(40)와 하부 히터(41)는 개별적으로 온도 제어를 할 수 있고, 측면 히터(40)에 의한 온도 구배의 모양은, 도가니 중간 부분의 온도가 도가니 아래쪽과 도가니 위쪽 보다는 더 높은 볼록한 모양이고, 하부 히터(41)에 의한 온도 구배의 모양은 가운데 부분의 온도가 양 끝 부분의 온도 보다 더 높은 위로 볼록한 모양이고, 진공 상태의 승온 단계, 불활성 분위기의 유지 단계, 불황성 분위기의 냉각 단계를 통하여 실린더형 석영 유리와 잉곳형 제조하며, 1600℃까지 온도가 상승할 때의 승온 속도는 20℃/min 이하이고, 1600℃이상에서의 승온 속도는 10℃/min 이하이며, 실린더 형 석영 유리를 제조할 때에는 최고 온도는 1800℃에서 1850℃이며, 상기 최고 온도의 유지시간은 1 시간이고, 200℃까지 내려가는 냉각 시간은 3 kg 급 실린더 형 석영 유리인 경우에는 8시간이고, 80 kg 급 실린더 형 석영 유리인 경우에는 12시간이고, 잉곳 형 석영유리를 제조할 때에는, 최고 온도는 1850℃에서 1900℃이며, 최고 온도의 유지시간은 2 시간에서 3 시간이고, 200℃까지 내려가는 냉각 시간은 5 kg 급일 경우에는 8시간이고, 100 kg 급일 경우에는 12시간인 것을 특징으로 하는 고순도 석영 유리 제조 방법.