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연합인증

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전기 구리 도금욕 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C25D-003/38
출원번호 10-2009-7025134 (2009-12-02)
공개번호 10-2010-0017562 (2010-02-16)
등록번호 10-1417986-0000 (2014-07-03)
국제출원번호 PCT/JP2007/060364 (2007-05-21)
국제공개번호 WO 2008/142770 (2008-11-27)
번역문제출일자 2009-12-02
DOI http://doi.org/10.8080/1020097025134
발명자 / 주소
  • 이소노, 토시히사 / 일본국 ******* 오사카후 히라카타시 데구치 *쵸메 *반 *고 우에무라 고교 가부시키가이샤 츄오켄큐쇼 내
  • 타치바나, 신지 / 일본국 ******* 오사카후 히라카타시 데구치 *쵸메 *반 *고 우에무라 고교 가부시키가이샤 츄오켄큐쇼 내
  • 카와세, 토모히로 / 일본국 ******* 오사카후 히라카타시 데구치 *쵸메 *반 *고 우에무라 고교 가부시키가이샤 츄오켄큐쇼 내
  • 오무라, 나오유키 / 일본국 ******* 오사카후 히라카타시 데구치 *쵸메 *반 *고 우에무라 고교 가부시키가이샤 츄오켄큐쇼 내
출원인 / 주소
  • 우에무라 고교 가부시키가이샤 / 일본국 오사카후 오사카시 쥬오구 도오쇼오마찌 *-*-*
대리인 / 주소
  • 송봉식; 정삼영
심사청구여부 있음 (2012-05-04)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

기판상에 형성된 미관통구멍을 구리로 충전하기 위하여 사용하는 전기 구리 도금욕으로서, 수용성 구리염, 황산, 염화물 이온 및 첨가제로서 브라이트너, 캐리어 및 레벨러를 함유하고, 상기 레벨러가 용액 중에서 양이온화하는 4차 질소, 3차 질소 또는 그들 모두를 함유하는 수용성 폴리머를 1종 이상 포함하는 전기 구리 도금욕.기판상에 형성된 미관통구멍을 구리 도금에 의해 충전하기 위한 전기 구리 도금욕의 구리 도금 충전성을, 레벨러인 수용성 폴리머의 4차 질소와 3차 질소의 비율을 변경하는 것만으로, 미관통구멍의 사이즈에 맞추어 간편하게

대표청구항

기판상에 형성된 미관통구멍을 구리로 충전하기 위하여 사용하는 전기 구리 도금욕으로서, 수용성 구리염, 황산, 염화물 이온 및 첨가제로서 브라이트너, 캐리어 및 레벨러를 함유하고, 상기 레벨러가 하기 식 (9)(식 중, R21, R22는 각각 탄소수 1∼4의 비치환의 알킬기, R23은 탄소수 1∼3의 치환 또는 비치환의 알킬기, r, s는 각각 1 이상의 정수임)로 표시되는 디알릴디알킬암모늄클로라이드와 N-알킬디알릴아민과의 코폴리머를 포함하는 것을 특징으로 한느 전기 구리 도금욕.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [일본] IMPROVED ACIDIC COPPER ELECTROPLATING SOLUTION | KIN MIN WAN, HUANG WEIJI, LAU MIU LING, LIU CAROL HSIUCHIN, MA CE, CHANG EDWARD K, HO WENPIN, PACIEJ RICHARD C
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  2. [일본] COPPER SULFATE PLATING BATH | UCHIDA HIROKI, ISONO TOSHIHISA, TACHIBANA SHINJI
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이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 구리 전해 도금액, 구리 도금 장치 및 이를 이용한 구리 범프 형성 방법 | 박명범, 강윤덕, 김기현, 조윤정, 최정식, 아리에토모코, 모리시마유지, 우선아, 토요다쇼헤이, 김범준, 즈시타케히로, 요시이타카히로, 타나카신이치
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  2. [한국] 전해 구리 도금액 및 전해 구리 도금 방법 | 사이토 무츠코, 사카이 마코토, 미즈노 요코, 모리나가 토시유키, 하야시 신지로
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