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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0006230 (2010-01-22) |
공개번호 | 10-2011-0086475 (2011-07-28) |
등록번호 | 10-1143846-0000 (2012-04-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100006230 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-01-22) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 원판유리를 예열하는 단계와, 예열된 원판유리를 칼륨 이온을 포함하는 가열된 칼륨 소스 용액에 침지하여 상기 칼륨 이온과 원판유리 내의 나트륨 이온이 상호 치환되게 하여 화학강화처리하는 단계와, 화학강화처리된 원판유리에 단위 유리로 세분하기 위한 스크라이브 레인을 정의하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 습식 식각하여 단위 유리로 형성하는 단계 및 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 화학강화유리의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 화학강화처리
원판유리를 예열하는 단계; 예열된 원판유리를 칼륨 이온을 포함하는 가열된 칼륨 소스 용액에 침지하여 상기 칼륨 이온과 원판유리 내의 나트륨 이온이 상호 치환되게 하여 화학강화처리하는 단계;화학강화처리된 원판유리에 단위 유리로 세분하기 위한 스크라이브 레인을 정의하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 습식 식각하여 단위 유리로 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 상기 단위 유리의 모서리 상하부를 면취하는 단계; 모서리가 면취된 단위 유리에 묻은 이물질을 세정하는 단
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