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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0044972 (2010-05-13) |
공개번호 | 10-2011-0125443 (2011-11-21) |
등록번호 | 10-1109731-0000 (2012-01-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100044972 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-05-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
칠러 장치와 공정 챔버를 냉매가 순환하는 냉매 경로를 포함하고, 상기 냉매 경로 상에는 압축기로부터 시작하여 응축기, 수액기 및 팽창밸브가 순차적으로 설치되고, 상기 압축기의 전단에는 제 1 압력센서가 설치되며, 상기 수액기와 팽창밸브 사이에 제 1 개폐밸브가 설치되고, 상기 공정 챔버의 전단과 후단에 각각 제 2 및 제 3 개폐밸브가 설치되고, 상기 제 2 개폐밸브와 상기 공정 챔버 사이에서 분기하는 분기 경로에는 제 2 압력센서와 제 4 개폐밸브가 설치되고, 상기 제 4 개폐밸브는 진공 펌프와 연결되며, 상기 제 1 및 제 2
칠러 장치와 공정 챔버를 냉매가 순환하는 냉매 경로 상에 압축기로부터 시작하여 응축기, 수액기 및 전자식 팽창밸브가 순차적으로 설치되어, 상기 팽창밸브로부터 출력된 냉매가 상기 공정 챔버에 공급되고,상기 압축기의 전단에는 제 1 압력센서가 설치되고,상기 수액기와 팽창밸브 사이에 제 1 개폐밸브가 설치되고, 상기 공정 챔버의 전단과 후단에 각각 제 2 및 제 3 개폐밸브가 설치되고,상기 제 2 개폐밸브와 상기 공정 챔버 사이에서 분기하는 분기 경로에는 제 2 압력센서와 제 4 개폐밸브가 설치되고, 상기 제 4 개폐밸브는 진공 펌프와
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