초록 ▼

1. 최종목표
- EDS공정용 초저온 반도체 칠러 개발 (용량: 3HP급, 작동온도: ${-100^{\circ}C}$)
2. 개발내용 및 결과
- Autocascade(초저온 다단냉동방식)을 이용하여 최적 냉매 및 조성비 선정
- 기-액분리기 선정을 통한 시스템 최적화
- 초저온에 적용 가능한 윤활유 및 브라인 선정에 따른 시스템 최적화
- 초저온 반도체 칠러 최적 설계 및 제작
- 초저온 반도체 칠러 성능시험/평가/시스템 최적화
3. 사업성과
o 기술적 성과

1. 최종목표
- EDS공정용 초저온 반도체 칠러 개발 (용량: 3HP급, 작동온도: ${-100^{\circ}C}$)
2. 개발내용 및 결과
- Autocascade(초저온 다단냉동방식)을 이용하여 최적 냉매 및 조성비 선정
- 기-액분리기 선정을 통한 시스템 최적화
- 초저온에 적용 가능한 윤활유 및 브라인 선정에 따른 시스템 최적화
- 초저온 반도체 칠러 최적 설계 및 제작
- 초저온 반도체 칠러 성능시험/평가/시스템 최적화
3. 사업성과
o 기술적 성과
- EDS공정용 초저온(${-100^{\circ}C}$) 칠러 최적 설계 및 제작을 통한 국산화 기술 보유
- 초저온 칠러 성능평가를 통한 독자적이고 체계적인 데이터 확보
- 최적 냉매 선정 및 조성비 확보를 통한 시스템 최적화 기술 보유
o 경제적 성과
- 현대하이닉스 EDS공정용 칠러 독자납품 기회 획득
- 초저온 칠러 대외 수출 및 수입대체 효과 기대
o 활용성과 등
- 초저온 진공동결건조 및 냉동고에 응용하여 최첨단 생명공학 시장으로의 확대 추진
- 에너지 절전형 반도체 칠러의 설계자료로 활용
4. 향후추진계획
- EDS공정용 초저온 반도체 칠러 실용화를 위한 내구성 및 신뢰성 연구를 추진할 예정임.

목차 Contents

• 개발결과의견서...1
• 최종보고요약서(초록)...2
• 목차...3
• 제 1 장 서론...4
• 제 1 절 개발대상기술(또는 제품)의 개요...4
• 제 2 절 기술(또는 제품)개발의 필요성 및 중요성...4
• 제 3 절 국내.외 관련 기술의 현황...5
• 제 4 절 국내.외 시장규모...5
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...6
• 제 1 절 실험장치 및 방법...6
• 2.1 사이클 작동원리...6
• 2.2 실험장치...6
• 2.3 실험방법...9
• 2.4 실험결과 및 고찰...10
• 제 3 장 사업성과...18
• 제 1 절 기술적 성과...18
• 제 2 절 경제적 성과...18
• 제 3 절 기타 성과...18
• 제 4 장 결론...19
• 제 1 절 3가지 냉매(R134a/R23/R14)를 적용한 경우...19
• 제 2 절 4가지 냉매(R600a/R134a/R23/R14)를 적용한 경우...19
• 제 3 절 향후 계획...19
• 참 고 문 헌...20