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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0048825 (2010-05-25) |
공개번호 | 10-2011-0129279 (2011-12-01) |
등록번호 | 10-1165432-0000 (2012-07-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100048825 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-05-25) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판에 균일하게 박막을 증착시킬 수 있는 마그넷 구동 방법 및 이를 이용한 스퍼터링 장치에 관한 것이다.일례로, 기판과, 상기 기판과 대향되는 위치에 형성된 타겟과, 상기 타겟의 일측 방향에 위치하는 제 1 변속 마그넷과, 상기 제 1 변속 마그넷의 반대측에 위치하는 제 2 변속 마그넷 및, 상기 제 1 변속 마그넷과 상기 제 2 변속 마그넷 사이에 위치하는 다수의 등속 마그넷을 포함하는 스퍼터링 장치의 마그넷 구동 방법에 있어서, 상기 제 1 변속 마그넷이 상기 타겟의 일측에서 타측 방향으로 제 1 속도를 가지고 제 1
기판과, 상기 기판과 대향되는 위치에 형성된 타겟과, 상기 타겟의 일측 방향에 위치하는 제 1 변속 마그넷과, 상기 제 1 변속 마그넷의 반대측에 위치하는 제 2 변속 마그넷 및, 상기 제 1 변속 마그넷과 상기 제 2 변속 마그넷 사이에 위치하는 다수의 등속 마그넷을 포함하는 스퍼터링 장치의 마그넷 구동 방법에 있어서,상기 제 1 변속 마그넷이 상기 타겟의 일측에서 타측 방향으로 제 1 속도를 가지고 제 1 지점까지 이동하는 제 1 이동단계;상기 제 1 변속 마그넷이 상기 타겟의 일측에서 타측 방향으로 제 2 속도를 가지고 제 2
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