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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0155271 (2014-11-10) | |
공개번호 | 10-2016-0056343 (2016-05-20) | |
등록번호 | 10-1699543-0000 (2017-01-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140155271 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-11-10) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 서브 챔버 모듈과 진공 펌프 사이의 결합 및 분리가 용이하고, 서브 챔버 모듈 내의 배기 속도가 균일하며, 서브 챔버 모듈의 유지 보수가 용이한 진공 성막 장치로서, 진공 챔버, 상기 진공 챔버의 내측에 설치되어 필름 위에 성막을 형성하는 서브 챔버 모듈과 상기 서브 챔버 모듈에 결합 또는 분리되는 착탈 모듈및상기 착탈 모듈에 결합되고, 상기 진공 챔버의 외측에 설치된 진공 펌프를 포함하는 진공 성막 장치를 개시한다.
진공 챔버;상기 진공 챔버의 내측에 위치하며 성막되는 필름을 이송하는 메인 롤러;상기 진공 챔버의 내부에서 상기 메인 롤러의 표면에 상기 필름을 향하여 다수가 배열되며 상기 필름 위에 성막을 형성하는 서브 챔버 모듈;상기 서브 챔버 모듈에 결합 또는 분리되는 착탈 모듈; 및상기 착탈 모듈에 결합되고, 상기 진공 챔버의 외측에 설치된 진공 펌프를 포함하며,상기 서브 챔버 모듈은내부 공기를 배기하기 위한 배기홀 및일측이 상기 배기홀에 삽입되며 타측이 상기 착탈 모듈 방향으로 연장되며. 내경이 일측 방향으로 갈수록 작아져 내주면이 축 중
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