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[한국특허] 배관용 히팅장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/02
출원번호 10-2010-0069427 (2010-07-19)
등록번호 10-1032573-0000 (2011-04-25)
DOI http://doi.org/10.8080/1020100069427
발명자 / 주소
  • 송종규 / 경기 수원시 영통구 매탄동 ****번지 매탄위브하늘채 ***동 ****호
출원인 / 주소
  • 주식회사 디엔디 / 경기 화성시 향남읍 관리 ***-**
대리인 / 주소
  • 서동원
심사청구여부 있음 (2010-07-19)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

배관용 히팅장치가 제공된다. 제공된 배관용 히팅장치는 진공배관의 연결부위인 진공배관의 연결돌부와 진공배관의 연결돌부가 맞닿는 곳을 감싸도록 설치된 연결편; 상기 연결편의 내면에 복수개가 설치고정되며, 일측에 상기 연결돌부의 외경과 면접촉을 이루는 원호부가 마련되고, 상기 원호부에 상기 연결돌부와 연결돌부 사이에 개재되는 열전도편이 돌출형성된 히팅블록; 상기 히팅블록의 내부에 설치되어, 외부전원이 인가시 발열하는 히터;상기 연결편의 양단부 사이에 설치되어, 상기 연결편의 양단부를 서로 연결하기 위한 결속수단을 포함하여 구성되어, 히팅

대표청구항

반응가스가 이동하는 진공배관(1)과 진공배관(1)의 연결부위에 설치되어, 진공배관(1)의 연결부위에서 반응가스가 증착되는 것을 방지할 수 있도록 열을 공급하는 배관용 히팅장치에 있어서,상기 배관용 히팅장치(100)는 진공배관(1)의 연결부위인 진공배관(1)의 연결돌부(2)와 진공배관(1)의 연결돌부(2)가 맞닿는 곳을 감싸도록 설치된 연결편(110);상기 연결편(110)의 내면에 복수개가 설치고정되며, 일측에 상기 연결돌부(2)의 외경과 면접촉을 이루는 원호부(121)가 마련되고, 상기 원호부(121)에 상기 연결돌부(2)와 연결돌

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 가요성단열히 터 | 하우슐츠 데이나 에스., 힐튼 데니얼 이.
  2. [한국] 열전달 균일성이 증가된 반도체 공정가스 배출용 히터자켓 | 김철기, 주형진

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 배관피팅부 히팅장치 | 이삼해
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