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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0069427 (2010-07-19) |
등록번호 | 10-1032573-0000 (2011-04-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100069427 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-07-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
배관용 히팅장치가 제공된다. 제공된 배관용 히팅장치는 진공배관의 연결부위인 진공배관의 연결돌부와 진공배관의 연결돌부가 맞닿는 곳을 감싸도록 설치된 연결편; 상기 연결편의 내면에 복수개가 설치고정되며, 일측에 상기 연결돌부의 외경과 면접촉을 이루는 원호부가 마련되고, 상기 원호부에 상기 연결돌부와 연결돌부 사이에 개재되는 열전도편이 돌출형성된 히팅블록; 상기 히팅블록의 내부에 설치되어, 외부전원이 인가시 발열하는 히터;상기 연결편의 양단부 사이에 설치되어, 상기 연결편의 양단부를 서로 연결하기 위한 결속수단을 포함하여 구성되어, 히팅
반응가스가 이동하는 진공배관(1)과 진공배관(1)의 연결부위에 설치되어, 진공배관(1)의 연결부위에서 반응가스가 증착되는 것을 방지할 수 있도록 열을 공급하는 배관용 히팅장치에 있어서,상기 배관용 히팅장치(100)는 진공배관(1)의 연결부위인 진공배관(1)의 연결돌부(2)와 진공배관(1)의 연결돌부(2)가 맞닿는 곳을 감싸도록 설치된 연결편(110);상기 연결편(110)의 내면에 복수개가 설치고정되며, 일측에 상기 연결돌부(2)의 외경과 면접촉을 이루는 원호부(121)가 마련되고, 상기 원호부(121)에 상기 연결돌부(2)와 연결돌
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