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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0127478 (2010-12-14) |
등록번호 | 10-1104784-0000 (2012-01-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100127478 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-12-14) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은, 전도성 박막재료의 4지점을 측정지점으로 하여 2개의 동일방향의 측정지점으로 전류를 공급하고 나머지 반대방향 2개의 측정지점에서 저항을 측정하여 수직축 방향의 저항과 수평축 방향의 저항을 연산하고, 이를 반데르포우법(van der Pauw method)을 이용하여 전도성 박막의 면저항을 측정할 수 있도록 한 반데르포우법을 이용한 전도성 박막의 면저항 측정장치 및 그 방법에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은, 전도성 박막의 면저항 측정장치에 있어서, 면저항 측정용 측정시료를 안착시키고, 반데르포우법을 적용하기 위해 측정시료
전도성 박막의 면저항 측정장치에 있어서,면저항 측정용 측정시료(1)를 안착시키고, 반데르포우법을 적용하기 위해 측정시료(1)의 4지점을 프로브(2)로 접촉시켜 전류를 공급하고 전압을 측정하기 위한 프로브 스테이션(10)과;상기 프로브 스테이션(10)의 전류공급단자에 연결되어 프로브 스테이션(10)을 통해 측정시료(1)로 전류를 공급하기 위한 전류원(20)과;상기 프로브 스테이션(10)의 전압측정단자에 연결되어 전압측정단자에서 측정된 전압을 증폭하고 디지털로 변환하기 위한 A/D 컨버터(30)와; 상기 프로브 스테이션의 4개 단자 중
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