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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2010-0138104 (2010-12-29) |
| 공개번호 | 10-2012-0076102 (2012-07-09) |
| 등록번호 | 10-1169982-0000 (2012-07-25) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020100138104 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2010-12-29) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 스테이지에 고정된 기판으로 패턴조명을 조사하는 적어도 하나의 투영부 및 기판의 이미지를 촬영하는 카메라를 포함하는 측정 모듈을 이용하여 기판을 복수의 관측영역(FOV)들로 분할하여 순차적으로 검사하는 기판 검사방법에 대한 것으로서, 복수의 관측영역들에 대하여 스테이지의 길이 방향을 따라 검사 순서를 설정하는 단계, 검사 순서에 따라 복수의 관측영역들을 검사함에 있어, 다음으로 검사할 대상 관측영역에 대하여 검사가 완료된 적어도 하나의 이전 관측영역에 대한 추세 정보를 이용하여 대상 관측영역에 대한 높이 변위량을 예측하는
스테이지에 고정된 기판으로 패턴조명을 조사하는 적어도 하나의 투영부 및 상기 기판의 이미지를 촬영하는 카메라를 포함하는 측정 모듈을 이용하여, 상기 기판을 복수의 관측영역(FOV)들로 분할하여 순차적으로 검사하는 기판 검사방법에 있어서,상기 복수의 관측영역들에 대하여 상기 스테이지의 길이 방향을 따라 검사 순서를 설정하는 단계;대상 관측영역에 대하여 검사가 완료된 적어도 하나의 이전 관측영역에 대한 추세 정보를 이용하여 상기 대상 관측영역에 대한 높이 변위량을 예측하는 단계;상기 대상 관측영역에 대하여 상기 예측된 높이 변위량을 기
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