이형석
/ 경기도 고양시 일산서구 하이파크*로 ** 하이파크시티일산아이파크*단지 ***-***
신강철
/ 경기도 성남시 분당구 벌말로**번길 ** 매화마을동신,건영빌라 ***-***
출원인 / 주소
(주)하이비젼시스템 / 경기도 성남시 중원구 둔촌대로 *** (상대원동)
대리인 / 주소
특허법인메이저
심사청구여부
있음 (2021-06-25)
심사진행상태
등록결정(재심사후)
법적상태
등록
초록▼
본 발명의 실시예는 웨이퍼 고속 촬영 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼가 기울어진 상태로 위치된다고 해도 위치 차이(기울기)를 간단하고 쉽게 측정 및 연산하고, 웨이퍼의 기울어진 정도에 따라 초점 거리를 변경하며 촬영함으로써, 고품질의 웨이퍼 영상을 획득할 수 있는 웨이퍼 고속 촬영 시스템을 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 스테이지에 위치된 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 값을 측정하는 포커스 측정부; 포커스 측정부로부터 입력된 포커스 값을 이용하여 웨이퍼의 평면 방정식을 계산하고, 평면 방정식으로부터
본 발명의 실시예는 웨이퍼 고속 촬영 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼가 기울어진 상태로 위치된다고 해도 위치 차이(기울기)를 간단하고 쉽게 측정 및 연산하고, 웨이퍼의 기울어진 정도에 따라 초점 거리를 변경하며 촬영함으로써, 고품질의 웨이퍼 영상을 획득할 수 있는 웨이퍼 고속 촬영 시스템을 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 스테이지에 위치된 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 값을 측정하는 포커스 측정부; 포커스 측정부로부터 입력된 포커스 값을 이용하여 웨이퍼의 평면 방정식을 계산하고, 평면 방정식으로부터 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 보정값을 계산하는 제어부; 제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수평 위치(X,Y)를 따라 이동하는 수평 위치 이동부; 제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수직 위치(Z)를 따라 이동하는 수직 위치 이동부; 및 제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수평 위치로 이동하면서 스캔하여 촬영하는 촬영부를 포함하되, 제어부는 촬영부가 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 보정값에 따라 웨이퍼를 촬영하도록 수직 위치 이동부의 수직 위치를 제어하는, 웨이퍼 고속 촬영 시스템을 개시한다.
대표청구항▼
스테이지에 위치된 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 값을 측정하는 포커스 측정부;포커스 측정부로부터 입력된 포커스 값을 이용하여 3차원 공간 상에서 웨이퍼의 3차원 평면 방정식을 계산하고, 3차원 평면 방정식으로부터 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 보정값을 계산하는 제어부;제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수평 위치(X,Y)를 따라 이동하는 수평 위치 이동부;제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수직 위치(Z)를 따라 이동하는 수직 위치 이동부; 및제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수평 위치로 이동하면서 스캔하여 촬영하는
스테이지에 위치된 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 값을 측정하는 포커스 측정부;포커스 측정부로부터 입력된 포커스 값을 이용하여 3차원 공간 상에서 웨이퍼의 3차원 평면 방정식을 계산하고, 3차원 평면 방정식으로부터 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 보정값을 계산하는 제어부;제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수평 위치(X,Y)를 따라 이동하는 수평 위치 이동부;제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수직 위치(Z)를 따라 이동하는 수직 위치 이동부; 및제어부의 제어 신호에 의해 웨이퍼 상에서 수평 위치로 이동하면서 스캔하여 촬영하는 촬영부를 포함하되, 제어부는 촬영부가 웨이퍼의 수평 위치별 포커스 보정값을 반영하여 웨이퍼를 촬영하도록 수직 위치 이동부의 수직 위치를 제어하고,수평 위치 이동부 및 수직 위치 이동부는 일체로 제공되어 이동하고, 포커스 측정부 및 촬영부는 일체로 제공된 수평 위치 이동부 및 수직 위치 이동부 상에 제공되며, 제어부의 제어 신호에 의해 수평 위치 이동부가 웨이퍼의 중앙 영역, 좌측 상부 영역, 우측 상부 영역, 좌측 하부 영역 및 우측 하부 영역으로 이동하고, 또한 제어부의 제어 신호에 의해 포커스 측정부가 웨이퍼의 중앙 영역, 좌측 상부 영역, 우측 상부 영역, 좌측 하부 영역 및 우측 하부 영역의 포커스 값을 측정하며,3차원 평면 방정식은 a(X-X1)+b(Y-Y1)+c(Z-Z1)=0 및 ax+by+cz+d=0를 만족하며,여기서, a, b, c 및 d는 각각 고정된 상수값이고, X-X1은 X축 상에서 수평 거리 차이(x)이고, Y-Y1은 Y축 상에서 수평 거리 차이(y)이며, Z-Z1은 Z축 상에서 수직 거리 차이(z)이며,제어부는 포커스 측정부를 제어하여 웨이퍼의 중앙 영역, 좌측 상부 영역, 우측 상부 영역, 좌측 하부 영역 및 우측 하부 영역의 포커스 값을 측정하는 단계; 측정된 포커스 값을 이용하여 3차원 공간 상에서 웨이퍼의 3차원 평면 방정식을 계산하는 단계; 3차원 평면 방정식을 이용하여 수평 위치별 포커스 보정값을 계산하는 단계; 및 수평 위치 이동부를 제어하여 웨이퍼 상에서 촬영부를 수평 방향으로 이동시키면서 수직 위치 이동부를 제어하여 웨이퍼 상에서 촬영부의 수직 위치를 조정하며, 웨이퍼를 수평 방향으로 스캔하는 동시에 수평 위치별 포커스 보정값을 반영해 수직 위치를 조정하여 웨이퍼를 촬영하는 단계를 수행하여,촬영부 스캔 시 촬영부와 웨이퍼 사이의 초점 거리가 일정하게 유지되며, 촬영부의 스캔 방향의 기울기가 웨이퍼의 평면과 평행한, 웨이퍼 고속 촬영 시스템.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.