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플라스마 챔버의 조정가능한 접지 평면 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/205
  • H01L-021/3065
  • H05H-001/34
출원번호 10-2010-7023015 (2010-10-14)
공개번호 10-2010-0126510 (2010-12-01)
등록번호 10-1546278-0000 (2015-08-17)
우선권정보 미국(US) 12/052,431 (2008-03-20)
국제출원번호 PCT/US2009/031966 (2009-01-26)
국제공개번호 WO 2009/117173 (2009-09-24)
번역문제출일자 2010-10-14
DOI http://doi.org/10.8080/1020107023015
발명자 / 주소
  • 자나키라만, 카틱 / 미국 ***** 캘리포니아 샌어제이 컨트리클럽 파크웨이 ****
  • 노박, 토마스 / 미국 ***** 캘리포니아 쿠퍼티노 #*** 포르지 웨이 *****
  • 로차-알바레즈, 주안 칼로스 / 미국 ***** 캘리포니아 산 카를로스 세달 **
  • 포도르, 마크 에이. / 미국 ***** 캘리포니아 로스 카토스 #** 오크 림 코트 ***
  • 두보이스, 데일 알. / 미국 ***** 캘리포니아 로스 가토스 물베리 드라이브 *****
  • 반살, 아미트 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 # * 워버튼 애브뉴 ****
  • 아유브, 모하매드 / 미국 ***** 캘리포니아 샌어제이 # **** 데스캔소 드라이브 **
  • 주코, 엘러 와이. / 미국 ***** 캘리포니아 샌어제이 바텐 웨이 ****
  • 시바라마크리쉬난, 비스웨스워렌 / 미국 ***** 캘리포니아 쿠퍼티노 도네갈 드라이브 ****
  • 엠'사드, 히쳄 / 미국 ***** 캘리포니아 산타클라라 #*** 그라나다 애브뉴 ****
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤드남
심사청구여부 있음 (2013-10-25)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

플라스마 챔버에서의 플라스마 방전의 강도 및 분포를 제어하기 위한 장치 및 방법이 제공된다.일 실시예에서는, 형태화된 전극이 기판 지지부 내에 매설되어 챔버 내부에서 반경 방향 및 축 방향 성분을 가지는 전기장을 제공한다.다른 실시예에서는, 샤워헤드 조립체의 면판 전극이 아이솔레이터에 의해 구역들로 분할되어, 상이한 구역에 상이한 전압이 인가될 수 있게 한다.추가로, 하나 또는 복수의 전극이 챔버 측벽 내에 매설될 수 있다.

대표청구항 ▼

기판을 처리하기 위한 장치로서,측벽을 포함하는 챔버 본체를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 배치된 기판 지지부;상기 기판 지지부에 결합되는 하나 또는 복수의 전극;상기 기판 지지부와 마주하는 면판을 가지는 샤워헤드 조립체 - 상기 기판 지지부 및 상기 면판은 협동하여(cooperatively) 프로세싱 용적을 한정함 -; 상기 측벽 내에 형성되며 배출 포트에 의해 상기 프로세싱 용적에 결합되는 펌핑 채널; 및상기 측벽 내에 매설되는 하나 또는 복수의 접지 부재;를 포함하고,상기 하나 또는 복수의 전극은 프로세싱 용적 내부에 축 방향

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [일본] PLASMA ETCHING DEVICE | MATSUMURA TAMIO
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  2. [한국] 반도체 기판의 박막 제조장치 | 장호승, 서태욱
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  3. [일본] PLASMA TREATMENT APPARATUS | KADOYA MASAHIRO, TAMURA HITOSHI, WATANABE SEIICHI
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이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. [한국] 고 주파수 무선 주파수에 대한 전극 임피던스를 튜닝하고 저 주파수 무선 주파수를 접지로 종단하기 위한 장치 및 방법 | 첸, 지안 제이., 로차-알바레즈, 주안 카를로스, 아유브, 모함메드 에이.
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  2. [한국] 프로세싱 챔버에서 튜닝 전극을 사용하여 플라즈마 프로파일을 튜닝하기 위한 장치 및 방법 | 아윱, 모하마드 에이., 첸, 지안 제이., 반살, 아미트 쿠마르
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  3. [한국] 정전척 전류제어 장치 | 김지수, 임성순, 조재훈, 이호준, 양두호, 이근혁, 왕현철, 이내일
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