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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0059098 (2011-06-17) | |
공개번호 | 10-2012-0080512 (2012-07-17) | |
등록번호 | 10-1305452-0000 (2013-09-02) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020110001693 (2011-01-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110059098 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-06-17) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 배기가스 흡착제 및 이를 이용한 배기가스 처리방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 본 발명에 따른 배기가스 흡착제는 1) 층상 화합물, 2) 알칼리금속계 화합물, 알칼리토금속계 화합물 및 산화철계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 제1 흡착활성성분, 3) 무기보습제를본 발명에 따른 배기가스 흡착제는 반도체 제조공정 중 식각공정을 거쳐 배출되는 배기가스에 대하여 우수한 흡착성능을 나타낼 수 있고, 제품수명 등이 향상된 특성이 있다.
1) 층상 화합물,2) 알칼리금속계 화합물, 알칼리토금속계 화합물 및 산화철계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 제1 흡착활성성분, 및3) 무기보습제을 포함하는 반도체 식각공정용 배기가스 흡착제.
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