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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0062275 (2011-06-27) |
공개번호 | 10-2012-0121333 (2012-11-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110062275 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 기판의 측면에서 발생하는 파티클 및 이로 인한 결함을 방지할 수 있도록 기판의 측면 표면 거칠기를 제어하는 마스크 블랭크용 기판의 측면연마방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 마스크 블랭크용 기판의 측면연마방법은 반도체 디바이스 제조에 사용되는 마스크 블랭크용 기판의 측면을 연마하는 방법으로서, 제1연마입자가 함유된 슬러리를 기판으로 공급하면서 기판의 측면을 연마하는 제1연마공정과, 제1연마공정 후에, 제1연마공정에서 이용된 제1연마입자와 상이한 제2연마입자를 포함하는 슬러리를 상기 기판으로 공급하면서 기판의 측면을 연마하
반도체 디바이스 제조에 사용되는 마스크 블랭크용 기판의 측면을 연마하는 방법으로서,제1연마입자가 함유된 슬러리를 기판으로 공급하면서 상기 기판의 측면을 연마하는 제1연마공정과, 상기 제1연마공정 후에, 상기 제1연마공정에서 이용된 제1연마입자와 상이한 제2연마입자를 포함하는 슬러리를 상기 기판으로 공급하면서 상기 기판의 측면을 연마하는 제2연마공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크용 기판의 측면연마방법.
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