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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2011-0064229 (2011-06-30) | |
| 공개번호 | 10-2013-0007192 (2013-01-18) | |
| 등록번호 | 10-1830976-0000 (2018-02-13) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020110064229 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2016-04-11) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 원자층 증착장치 및 이를 이용한 유기발광소자의 봉지방법에 대한에 것으로서, 본 발명에 따른 원자층 증작 장치는 퍼지가스 주입노즐 부분의 구조를 개선하여 원자층 증착 공정에서의 퍼지가스의 배출 효율을 높여 퍼지공정의 속도를 증가시킬 수 있다. 그 결과 본 발명에 따른 원자층 증작 장치를 사용하여 유기발광소자를 밀봉하는 봉지공정을 실시할 경우 증착 속도와 및 봉지 막질을 향상시킬 수 있다.
반응 챔버;상기 반응 챔버 내에 설치되어 기판을 지지하는 기판 지지대; 및상기 기판 지지대의 상부에 배치되어 상기 기판상에 제1소스가스, 제2소스가스 및 퍼지가스를 주입할 수 있는 적어도 하나의 노즐 세트를 가진 샤워헤드;를 포함하며,상기 기판 지지대와 샤워 헤드 중 적어도 하나는 제 1 방향을 따라 이동 가능하게 설치되고,상기 적어도 하나의 노즐 세트 각각은, 제1소스가스 증착을 위한 제1부분 노즐세트 및 제2소스가스 증착을 위한 제2부분 노즐세트를 포함하며,상기 제1부분 노즐세트는, 제1소스가스 주입노즐, 퍼지가스 주입노즐 및
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