초록 ▼

(과제) 기판 주면의 전면에 걸쳐 웨트 처리의 균일화를 도모하고, 처리의 제품 수율의 향상이나 품질 개선을 달성할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.(해결 수단) 스프레이 파이프부(22)와, 스프레이 파이프부(22)의 길이 방향으로 일렬로 서로 근접하여 설치되고 약액을 그 토출구(26)로부터 기판(W)의 표면(102)으로 토출하는 복수의 노즐부(24)로 구성되는 복수의 스프레이 노즐(14)을 구비하고, 기판(W)의 표면(102)에 대한 복수의 노즐부(24)의 토출구(26)의 대향 각도를, 경사시킨 자세로 반송되는 기판(W)의 표면

(과제) 기판 주면의 전면에 걸쳐 웨트 처리의 균일화를 도모하고, 처리의 제품 수율의 향상이나 품질 개선을 달성할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.(해결 수단) 스프레이 파이프부(22)와, 스프레이 파이프부(22)의 길이 방향으로 일렬로 서로 근접하여 설치되고 약액을 그 토출구(26)로부터 기판(W)의 표면(102)으로 토출하는 복수의 노즐부(24)로 구성되는 복수의 스프레이 노즐(14)을 구비하고, 기판(W)의 표면(102)에 대한 복수의 노즐부(24)의 토출구(26)의 대향 각도를, 경사시킨 자세로 반송되는 기판(W)의 표면(102)의 경사 하단 방향을 향해, 기판(W)의 표면(102)의 경사 상단부 부근으로부터 경사 하단부 부근에 걸쳐, 기판(W)의 표면(102)의 법선(300)에 대해서 점차 작아지도록, 복수의 노즐부(24)를 복수의 스프레이 파이프부(22)에 설치함으로써, 기판(W)의 표면(102) 상에 있어서 토출 후의 약액의 유속을 경사 상단부 부근에서는 상대적으로 작게 경사 하단부 부근에서는 상대적으로 크게 한다.

대표청구항 ▼

기판에 대해서 웨트(wet) 처리를 행하는 웨트 처리실과,상기 웨트 처리실 내에 설치되어 기판을 수평면에 대해서 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 소정 각도 경사시킨 자세로 수평 방향으로 반송하는 기판 반송 수단과,상기 웨트 처리실 내에 설치되는 기판 반송 수단에 의해 반송되는 기판의 주면에 처리액을 공급하는 처리액 공급 수단을 구비한 기판 처리 장치로서,상기 처리액 공급 수단은,기판 반송 방향에 관해서 교차하는 방향으로 등(等)피치로 서로 평행하게 배치되고 처리액을 기판의 주면으로 토출하는 복수의 스프레이 노즐을 구비하고,각 상

기판에 대해서 웨트(wet) 처리를 행하는 웨트 처리실과,상기 웨트 처리실 내에 설치되어 기판을 수평면에 대해서 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 소정 각도 경사시킨 자세로 수평 방향으로 반송하는 기판 반송 수단과,상기 웨트 처리실 내에 설치되는 기판 반송 수단에 의해 반송되는 기판의 주면에 처리액을 공급하는 처리액 공급 수단을 구비한 기판 처리 장치로서,상기 처리액 공급 수단은,기판 반송 방향에 관해서 교차하는 방향으로 등(等)피치로 서로 평행하게 배치되고 처리액을 기판의 주면으로 토출하는 복수의 스프레이 노즐을 구비하고,각 상기 복수의 스프레이 노즐은,상기 기판 반송 방향을 따르는 방향으로 연장되는 스프레이 파이프부와, 당해 스프레이 파이프부의 길이 방향으로 일렬로 서로 근접하여 설치되고 처리액을 그 토출구로부터 기판의 주면으로 토출하는 복수의 노즐부로 구성되는 기판 처리 장치에 있어서,기판의 주면에 대한 상기 복수의 노즐부의 토출구의 대향 각도를, 경사시킨 자세로 반송되는 기판의 주면의 경사 하단 방향을 향해, 기판의 주면의 경사 상단부 부근으로부터 경사 하단부 부근에 걸쳐, 기판의 주면의 법선에 대해서 점차 작아지도록, 상기 복수의 노즐부를 상기 복수의 스프레이 파이프부에 설치함으로써, 기판의 주면 상에 있어서 토출 후의 처리액의 유속을 상기 경사 상단부 부근에서보다 상기 경사 하단부 부근에서 더 크게 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.