초록

본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 플라즈마 발생 장치는 유전체 창문을 가지고 토로이달 형태의 방전 공간을 가지는 챔버, 챔버의 일부를 감싸도록 배치되는 자성체 코어, 자성체 코어를 감싸도록 배치되는 유도 코일, 및 유전체 창문을 통하여 초고주파를 방사하는 도파관을 포함한다. 유도 코일에 흐르는 교류 전류는 자성체 코어에 자속을 형성하고, 자속은 상기 챔버 내부에 유도 결합 플라즈마를 형성하고, 도파관을 진행하는 초고주파는 챔버에 초고주파 플라즈마를 형성한다.

대표청구항 ▼

유전체 창문을 가지고 토로이달 형태의 방전 공간을 가지는 챔버;상기 챔버의 일부를 감싸도록 배치되는 자성체 코어;상기 자성체 코어를 감싸도록 배치되는 유도 코일; 및상기 유전체 창문을 통하여 초고주파를 방사하는 도파관을 포함하고,유도 코일에 흐르는 교류 전류는 상기 자성체 코어에 자속을 형성하고, 상기 자속은 상기 챔버 내부에 유도 결합 플라즈마를 형성하고,상기 도파관을 진행하는 초고주파는 상기 챔버에 초고주파 플라즈마를 형성하고,상기 챔버는 제1 내지 제4 몸통을 포함하고,상기 제1 몸통 내지 제4 몸통은 차례로 연결되어 토로이달

유전체 창문을 가지고 토로이달 형태의 방전 공간을 가지는 챔버;상기 챔버의 일부를 감싸도록 배치되는 자성체 코어;상기 자성체 코어를 감싸도록 배치되는 유도 코일; 및상기 유전체 창문을 통하여 초고주파를 방사하는 도파관을 포함하고,유도 코일에 흐르는 교류 전류는 상기 자성체 코어에 자속을 형성하고, 상기 자속은 상기 챔버 내부에 유도 결합 플라즈마를 형성하고,상기 도파관을 진행하는 초고주파는 상기 챔버에 초고주파 플라즈마를 형성하고,상기 챔버는 제1 내지 제4 몸통을 포함하고,상기 제1 몸통 내지 제4 몸통은 차례로 연결되어 토로이달 형태의 방전 공간을 제공하고,상기 자성체 코어는 제1 자성체 코어 및 제2 자성체 코어를 포함하고,상기 제1 자성체 코어는 상기 제1 몸통을 감싸도록 배치되고, 상기 제2 자성체 코어는 상기 제3 몸통을 감싸도록 배치되고,상기 도파관은 제1 슬릿을 가지는 제1 도파관을 포함하고,상기 유전체 창문은 제1 유전체 창문을 포함하고,상기 제1 유전체 창문은 상기 제2 몸통에 장착되고,상기 제1 슬릿은 상기 제1 유전체 창문을 통하여 초고주파를 상기 제2 몸통에 제공하고,상기 제1 몸통 내지 상기 제4 몸통은 서로 절연 스페이서로 전기적으로 분리되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.