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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2013-0046716 (2013-04-26) | |
| 공개번호 | 10-2014-0005083 (2014-01-14) | |
| 등록번호 | 10-1446159-0000 (2014-09-24) | |
| 우선권정보 | 대한민국(KR) 1020120072309 (2012-07-03) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020130046716 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2013-04-26) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 폐 루프를 형성하도록 토로이드(toroid) 형태의 자성체 코어, 자성체 코어의 일 단면을 감싸고 폐 루프를 형성하는 방전 공간을 포함하는 챔버, 자성체 코어의 다른 단면을 감싸도록 배치되는 유도 코일, 유도 코일에 전력을 공급하여 자성체 코어에 의하여 형성된 유도 기전력이 방전 공간에 토로이달 플라즈마를 형성하도록 하는 교류 전원, 및 방전 공간의 내부 표면에 형성된 그루브(Groove)를 포함한다. 유도 코일은 변압기의 1차 코일을 구성하고, 방전 공간에 형성된 플라즈마는 상
폐 루프를 형성하도록 토로이드(toroid) 형태의 자성체 코어;상기 자성체 코어의 일 단면을 감싸고 폐 루프를 형성하는 방전 공간을 포함하는 챔버;상기 자성체 코어의 다른 단면을 감싸도록 배치되는 유도 코일;상기 유도 코일에 전력을 공급하여 상기 자성체 코어에 의하여 형성된 유도 기전력이 상기 방전 공간에 토로이달 플라즈마를 형성하도록 하는 교류 전원; 및상기 방전 공간의 내부 표면에 형성된 그루브(Groove)를 포함하고,상기 유도 코일은 변압기의 1차 코일을 구성하고, 상기 방전 공간에 형성된 플라즈마는 상기 변압기의 2차 코
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