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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2011-0082471 (2011-08-18) | |
| 공개번호 | 10-2013-0020080 (2013-02-27) | |
| 등록번호 | 10-1247453-0000 (2013-03-19) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020110082471 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2011-08-18) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 냉각 및 차폐 기능이 있는 엑스레이 소스를 공개한다. 이 장치는 하나 이상의 절연 기둥을 구비하고 진공 상태에서 X-선을 방출시키는 엑스레이 발생부; 엑스레이 발생부 외곽에 형성되어 상기 엑스레이 발생부에서 방출되는 열을 냉각하는 냉각부; 및 상기 냉각부의 외곽에 형성되어 상기 X-선의 방출에 관여하는 부분 외의 영역에서 누출되는 X-선을 차폐하는 차폐부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
게이트 전극, 포커싱 전극 및 하나 이상의 절연 기둥을 구비하고 진공 상태에서 X-선을 방출시키는 엑스레이 발생부;상기 엑스레이 발생부 외곽에 형성되어 상기 엑스레이 발생부에서 방출되는 열을 냉각하는 냉각부; 및상기 냉각부의 외곽에 형성되어 상기 X-선의 방출에 관여하는 부분 외의 영역에서 누출되는 X-선을 차폐하는 차폐부; 를 구비하고, 상기 하나 이상의 절연 기둥은 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극의 위치를 고정 및 조절하여 고효율의 안정적인 전자 방출 특성을 제어하며, 상기 하나 이상의 절연 기둥은 그 내부가 중공형 또는
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