초록 ▼

기판 상으로 액체 컨포멀 코팅 물질을 분배하기 위한 도포기가 개시된다. 도포기는 코팅 물질을 수용하도록 구성된 액체 유입구 및 액체 유출구를 가지는 액체 유동 통로를 구비한 본체 조립체를 포함한다. 밸브 시트는 액체 유동 통로와 액체 유출구 사이에 위치된다. 밸브 스템은 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 왕복 운동을 위하여 본체 조립체에 장착된다. 밸브 스템은 제 1 단부와 제 2 단부를 포함한다. 밸브 스템의 제 1 단부는 유출구를 통한 액체 코팅 물질의 유동을 정지시키도록 폐쇄 위치에서 밸브 세트를 결합하고, 유출구를 통한 액체

기판 상으로 액체 컨포멀 코팅 물질을 분배하기 위한 도포기가 개시된다. 도포기는 코팅 물질을 수용하도록 구성된 액체 유입구 및 액체 유출구를 가지는 액체 유동 통로를 구비한 본체 조립체를 포함한다. 밸브 시트는 액체 유동 통로와 액체 유출구 사이에 위치된다. 밸브 스템은 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 왕복 운동을 위하여 본체 조립체에 장착된다. 밸브 스템은 제 1 단부와 제 2 단부를 포함한다. 밸브 스템의 제 1 단부는 유출구를 통한 액체 코팅 물질의 유동을 정지시키도록 폐쇄 위치에서 밸브 세트를 결합하고, 유출구를 통한 액체 코팅 물질의 유동을 허용하도록 개방 위치에서 밸브 시트로부터 분리된다. 밸브 작동기구는 개방 위치로부터 폐쇄 위치로 밸브 스템을 움직이도록 작동하고, 또한 폐쇄 위치로부터 개방 위치로 밸브 스템을 움직이도록 작동한다. 탄성 완충 요소는 본체 조립체의 부분과 밸브 스템 사이에 작동적으로 결합된다. 탄성 완충 요소는 폐쇄 위치를 향한 밸브 스템의 리바운드 움직임을 감소시키도록 밸브 스템이 폐쇄 위치로부터 개방 위치로 움직임으로써 밸브 스템에 대해 편향력을 제공한다.

대표청구항 ▼

기판 상에 액체 컨포멀 코팅 물질을 분배하기 위한 도포기로서, i. 액체 컨포멀 코팅 물질을 수용하도록 구성되는 액체 유입구, 및 액체 유출구를 가진 액체 유동 통로;ⅱ. 상기 액체 유동 통로와 상기 액체 유출구 사이에 위치되는 밸브 시트; 및 ⅲ. 밸브 작동기구;를 포함하는 본체 조립체; 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 왕복 운동을 위하여 상기 본체 조립체에 장착되는 밸브 스템으로서, 상기 밸브 스템은 제 1 단부 및 제 2 단부를 포함하고, 상기 밸브 스템의 제 1 단부는, 상기 유출구를 통한 상기 액체 컨포멀 코팅 물질의 유동

기판 상에 액체 컨포멀 코팅 물질을 분배하기 위한 도포기로서, i. 액체 컨포멀 코팅 물질을 수용하도록 구성되는 액체 유입구, 및 액체 유출구를 가진 액체 유동 통로;ⅱ. 상기 액체 유동 통로와 상기 액체 유출구 사이에 위치되는 밸브 시트; 및 ⅲ. 밸브 작동기구;를 포함하는 본체 조립체; 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 왕복 운동을 위하여 상기 본체 조립체에 장착되는 밸브 스템으로서, 상기 밸브 스템은 제 1 단부 및 제 2 단부를 포함하고, 상기 밸브 스템의 제 1 단부는, 상기 유출구를 통한 상기 액체 컨포멀 코팅 물질의 유동을 정지하도록 상기 폐쇄 위치에서 상기 밸브 시트에 결합하고, 상기 유출구를 통한 상기 액체 컨포멀 코팅 물질의 유동을 허용하도록 상기 개방 위치에서 상기 밸브 시트로부터 분리되고, 상기 밸브 작동기구는 상기 개방 위치로부터 상기 폐쇄 위치로 상기 밸브 스템을 움직이도록 작동하고, 또한 상기 폐쇄 위치로부터 상기 개방 위치로 상기 밸브 스템을 움직이도록 작동하는, 상기 밸브 스템; 상기 밸브 스템이 상기 개방 위치와 상기 폐쇄 위치 사이에서 진행하는 거리를 조정하기 위한 정지 요소를 구비한 밸브 행정 조정기; 및상기 정지 요소와 상기 밸브 스템 사이에 위치되는 탄성 완충 요소로서, 상기 밸브 스템이 상기 폐쇄 위치로부터 상기 개방 위치로 움직임에 따라 상기 밸브 스템에 대해 편향력(biasing force)을 제공하는 상기 탄성 완충 요소;를 포함하고,상기 탄성 완충 요소는 상기 개방 위치 및 상기 폐쇄 위치에서 뿐만 아니라 상기 개방 위치 및 상기 폐쇄 위치 사이에서 상기 밸브 스템의 움직임 동안 상기 밸브 스템에 접촉하는, 액체 컨포멀 코팅 물질 분배용 도포기.