[특허]정전척 및 정전척 제조방법

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정전척 및 정전척 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 H01L-021/687 H02N-013/00 B23Q-003/15
출원번호	10-2011-0121546 (2011-11-21)
공개번호	10-2013-0055881 (2013-05-29)
등록번호	10-1355505-0000 (2014-01-20)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020110121546
발명자 / 주소	손형규 / 서울특별시 영등포구 도림로 *, 동 ***호 (도림동, 동아에코빌)
출원인 / 주소	엘아이지에이디피 주식회사 / 경기도 성남시 중원구 갈마치로 *** (상대원동)
대리인 / 주소	에스앤아이피특허법인
심사청구여부	있음 (2011-11-21)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

본 발명에 따른 정전척은 알루미늄 몸체, 상기 몸체의 측면과 상측면에 양극 산화로 알루미나 코팅된 제 1절연층, 상기 제 1절연층 상부에 형성되는 금속 전극층, 상기 금속 전극층 상부에 형성되는 알루미늄층, 상기 알루미늄층을 양극 산화로 형성한 제 2절연층을 구비하는 것으로, 이러한 본 발명에 따른 정전척 및 정전척 제조방법은 절연층을 형성하기 위하여 종래와 같이 용사 코팅을 수행하지 않고, 양극 산화, 즉 아노다이징으로 절연층을 형성한다. 따라서 대면적이면서 고성능의 정전척의 제조가 가능하도록 한다. 더욱이 용사 코팅에 의한 절연

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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