초록 ▼

본 발명은 상면이 평평한 형상의 단결정을 성장시킬 수 있는 실리콘카바이드 단결정 성장장치에 관한 것이다.본 발명의 실시예에 따른 실리콘카바이드 단결정 성장장치는, 그 내부에 단결정 원료가 장입되는 도가니; 상기 도가니의 내벽에 부착되어 종자정을 고정시키는 종자정 홀더; 상기 도가니를 둘러싸는 단열재; 상기 단열재를 둘러싸는 형상으로 구비되는 석영관; 상기 도가니를 가열하도록 상기 석영관의 외측에 배치되는 가열수단; 및 상기 도가니의 내부를 향하여 돌출되고, 상기 종자정을 향하여 점진적으로 원주가 좁아지도록 경사지게 형성되는 가이드

본 발명은 상면이 평평한 형상의 단결정을 성장시킬 수 있는 실리콘카바이드 단결정 성장장치에 관한 것이다.본 발명의 실시예에 따른 실리콘카바이드 단결정 성장장치는, 그 내부에 단결정 원료가 장입되는 도가니; 상기 도가니의 내벽에 부착되어 종자정을 고정시키는 종자정 홀더; 상기 도가니를 둘러싸는 단열재; 상기 단열재를 둘러싸는 형상으로 구비되는 석영관; 상기 도가니를 가열하도록 상기 석영관의 외측에 배치되는 가열수단; 및 상기 도가니의 내부를 향하여 돌출되고, 상기 종자정을 향하여 점진적으로 원주가 좁아지도록 경사지게 형성되는 가이드 링; 을 포함하되, 상기 가이드 링에는 경사지게 형성된 부분의 상측의 두께가 그 하측의 두께보다 상대적으로 두꺼워지도록 변형부가 형성될 수 있다.

대표청구항

그 내부에 단결정 원료가 장입되는 도가니;상기 도가니의 내벽에 부착되어 종자정을 고정시키는 종자정 홀더;상기 도가니를 둘러싸는 단열재;상기 단열재를 둘러싸는 형상으로 구비되는 석영관;상기 도가니를 가열하도록 상기 석영관의 외측에 배치되는 가열수단; 및상기 도가니의 내부를 향하여 돌출되고, 상기 종자정을 향하여 점진적으로 원주가 좁아지도록 경사지게 형성되는 가이드 링;을 포함하되,상기 가이드 링에는 경사지게 형성된 부분의 상측의 두께가 그 하측의 두께보다 상대적으로 두꺼워지도록 변형부가 형성되는 실리콘카바이드 단결정 성장장치.

그 내부에 단결정 원료가 장입되는 도가니;상기 도가니의 내벽에 부착되어 종자정을 고정시키는 종자정 홀더;상기 도가니를 둘러싸는 단열재;상기 단열재를 둘러싸는 형상으로 구비되는 석영관;상기 도가니를 가열하도록 상기 석영관의 외측에 배치되는 가열수단; 및상기 도가니의 내부를 향하여 돌출되고, 상기 종자정을 향하여 점진적으로 원주가 좁아지도록 경사지게 형성되는 가이드 링;을 포함하되,상기 가이드 링에는 경사지게 형성된 부분의 상측의 두께가 그 하측의 두께보다 상대적으로 두꺼워지도록 변형부가 형성되는 실리콘카바이드 단결정 성장장치.