초록

본 장치는, 반도체 웨이퍼(30)를 보유지지해서 회전시키는 회전기구(11)와, 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하는 검출기구(12)와, 회전기구(11)의 웨이퍼 재치부로부터 웨이퍼(30)를 집어올리거나 웨이퍼 재치부에 웨이퍼(30)를 재치하는 웨이퍼 이송기구(13)를 구비하고 있다.웨이퍼 이송기구(13)는, 웨이퍼 재치부의 바로 위쪽 위치에서 웨이퍼(30)를 보유지지하는 가동 보유지지부(15)를 갖고, 회전기구(11)에 보유지지되어 있는 웨이퍼(30)를 회피해서 가동 보유지지부(15)가 하강 또는 상승하도록 구성되어 있다.

대표청구항 ▼

반도체 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구와, 상기 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하기 위한 검출기구와, 상기 회전기구의 웨이퍼 재치부로부터 상기 웨이퍼를 집어올리거나 상기 웨이퍼 재치부에 웨이퍼를 재치하기 위한 웨이퍼 이송기구를 구비하되,상기 웨이퍼 이송기구가, 상기 웨이퍼 재치부의 바로 위쪽 위치에서 상기 웨이퍼를 보유지지하기 위한 1쌍의 세장부재를 갖추고, 상기 1쌍의 세장부재는 상기 웨이퍼와 평행한 공통의 평면에서 연장되어 있으며, 상기 웨이퍼 이송기구는 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼를 우회해서

반도체 웨이퍼를 보유지지해서 회전시키기 위한 회전기구와, 상기 웨이퍼에 형성된 위치결정용 절결부를 검출하기 위한 검출기구와, 상기 회전기구의 웨이퍼 재치부로부터 상기 웨이퍼를 집어올리거나 상기 웨이퍼 재치부에 웨이퍼를 재치하기 위한 웨이퍼 이송기구를 구비하되,상기 웨이퍼 이송기구가, 상기 웨이퍼 재치부의 바로 위쪽 위치에서 상기 웨이퍼를 보유지지하기 위한 1쌍의 세장부재를 갖추고, 상기 1쌍의 세장부재는 상기 웨이퍼와 평행한 공통의 평면에서 연장되어 있으며, 상기 웨이퍼 이송기구는 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼를 우회해서 상기 1쌍의 세장부재가 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 위쪽 위치로부터 상기 회전기구에 보유지지되어 있는 웨이퍼의 아래쪽 위치로, 또는 그와 반대로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 프리얼라이너 장치.