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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-7030384 (2011-12-19) |
공개번호 | 10-2012-0027372 (2012-03-21) |
국제출원번호 | PCT/JP2009/059371 (2009-05-21) |
국제공개번호 | WO2010134185 (2010-11-25) |
번역문제출일자 | 2011-12-19 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020117030384 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
산화세륨이 표면에 부착된 피세정물에 대해, 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 세정 제거할 수 있는 세정액 및 이를 이용한 세정 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 세정액은, 산화세륨을 제거하는 세정액이고, 불화수소와, 염산, 질산, 황산, 초산, 인산, 요오드산 및 브롬화수소산으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 산과, 물을 포함하여 구성되고, 상기 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 제거하는 것을 특징으로 한다.
산화세륨을 제거하는 세정액이고, 불화수소와, 염산, 질산, 황산, 초산, 인산, 요오드산 및 브롬화수소산으로 이루어는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 산과, 물을 포함하여 구성되고, 상기 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 제거하는 것을 특징으로 하는 세정액.
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