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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

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세정액 및 세정 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C11D-007/60
  • C11D-007/08
  • H01L-021/304
출원번호 10-2011-7030384 (2011-12-19)
공개번호 10-2012-0027372 (2012-03-21)
국제출원번호 PCT/JP2009/059371 (2009-05-21)
국제공개번호 WO2010134185 (2010-11-25)
번역문제출일자 2011-12-19
DOI http://doi.org/10.8080/1020117030384
발명자 / 주소
  • 미야시타, 마사유키 / 일본, 오사카 *******, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
  • 쿠지메, 타카노부 / 일본, 오사카 *******, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
  • 니이, 케이이치 / 일본, 오사카 *******, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
  • 야마모토, 마사시 / 일본, 오사카 *******, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
출원인 / 주소
  • 스텔라 케미파 가부시키가이샤 / 일본 오사카켄 오사카시 추오쿠 아와지마치 *-*-*
대리인 / 주소
  • 허용록
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

산화세륨이 표면에 부착된 피세정물에 대해, 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 세정 제거할 수 있는 세정액 및 이를 이용한 세정 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 세정액은, 산화세륨을 제거하는 세정액이고, 불화수소와, 염산, 질산, 황산, 초산, 인산, 요오드산 및 브롬화수소산으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 산과, 물을 포함하여 구성되고, 상기 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 제거하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

산화세륨을 제거하는 세정액이고, 불화수소와, 염산, 질산, 황산, 초산, 인산, 요오드산 및 브롬화수소산으로 이루어는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 산과, 물을 포함하여 구성되고, 상기 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 제거하는 것을 특징으로 하는 세정액.

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