초록 ▼

본 발명에 따라서 수소 센서 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와; 상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와; 상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소

본 발명에 따라서 수소 센서 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와; 상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와; 상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에 대응되는 복수 개의 나노 갭을 갖는 것인, 상기 수소 센서 기판을 형성하는 단계와; 상기 수소 센서 기판에 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와;상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와;상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에

수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와;상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와;상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에 대응되는 복수 개의 나노 갭을 갖는 것인, 상기 수소 센서 기판을 형성하는 단계와;상기 수소 센서 기판에 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조 방법.