최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2012-0027626 (2012-03-19) | |
공개번호 | 10-2013-0106032 (2013-09-27) | |
등록번호 | 10-1358245-0000 (2014-01-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120027626 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2012-03-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명에 따라서 수소 센서 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와; 상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와; 상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소
수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와;상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와;상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.