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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0027704 (2012-03-19) | |
공개번호 | 10-2013-0106081 (2013-09-27) | |
등록번호 | 10-1404136-0000 (2014-05-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120027704 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-03-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 관점에 따른 전기 강판의 제조방법이 제공된다. 제 1 강판을 제공한다. 플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 상기 제 1 강판의 적어도 일면 상에 적어도 하나의 규소층을 형성한다. 상기 적어도 하나의 규소층 내 규소가 상기 제 1 강판 내로 확산되도록 상기 제 1 강판을 열처리하여, 규소를 함유하는 제 2 강판을 형성한다.
제 1 강판을 제공하는 단계;플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 상기 제 1 강판의 적어도 일면 상에 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계; 및상기 적어도 하나의 규소층 내 규소가 상기 제 1 강판 내로 확산되도록 상기 제 1 강판을 열처리하여, 규소를 함유하는 제 2 강판을 형성하는 단계를 포함하고,상기 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계는,상기 제 1 강판의 양면 상에 적어도 한 쌍의 회전 전극들을 배치시키는 단계;상기 제 1 강판의 양면과 상기 적어도 한 쌍의 회전 전극들 사이에 국부적으로 플라즈마를 발생시켜 반응 기체의 화학
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