초록 ▼

열 처리 기구를 사용하여 기판을 소정의 온도로 열 처리하는 열 처리 장치에 있어서, 상기 열 처리 기구의 온도를 간이한 방법으로 적절하게 교정한다.온도 교정 장치의 온도 검사 지그(10)는, 열 처리판 상에 적재되는 피처리 웨이퍼(70)와, 피처리 웨이퍼(70) 상에 설치된 복수의 휘트스톤 브리지 회로(71)를 갖고 있다.휘트스톤 브리지 회로(71)는, 온도 변화에 따라서 저항값이 변화되는 4개의 측온 저항체(72)와, 접촉자(41)가 접촉하는 4개의 콘택트 패드(73)를 갖고 있다.온도 교정 장치의 제어부에서는, 휘트스톤 브리지

열 처리 기구를 사용하여 기판을 소정의 온도로 열 처리하는 열 처리 장치에 있어서, 상기 열 처리 기구의 온도를 간이한 방법으로 적절하게 교정한다.온도 교정 장치의 온도 검사 지그(10)는, 열 처리판 상에 적재되는 피처리 웨이퍼(70)와, 피처리 웨이퍼(70) 상에 설치된 복수의 휘트스톤 브리지 회로(71)를 갖고 있다.휘트스톤 브리지 회로(71)는, 온도 변화에 따라서 저항값이 변화되는 4개의 측온 저항체(72)와, 접촉자(41)가 접촉하는 4개의 콘택트 패드(73)를 갖고 있다.온도 교정 장치의 제어부에서는, 휘트스톤 브리지 회로(71)가 평형 상태로 되도록, 즉 휘트스톤 브리지 회로(71)의 오프셋 전압이 제로가 되도록, 열 처리판의 온도를 조절한다.

대표청구항

열 처리 기구를 사용하여 기판을 소정의 온도로 열 처리하는 열 처리 장치에 대해, 상기 열 처리 기구의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 장치이며,기판과,상기 기판 상에 설치되고, 온도 변화에 따라서 저항값이 변화되는 복수의 측온 저항체를 구비한 휘트스톤 브리지 회로를 갖는 것을 특징으로 하는, 온도 측정 장치.

열 처리 기구를 사용하여 기판을 소정의 온도로 열 처리하는 열 처리 장치에 대해, 상기 열 처리 기구의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 장치이며,기판과,상기 기판 상에 설치되고, 온도 변화에 따라서 저항값이 변화되는 복수의 측온 저항체를 구비한 휘트스톤 브리지 회로를 갖는 것을 특징으로 하는, 온도 측정 장치.