초록 ▼

본 발명은 단위 시간당 폴리실리콘 제조량을 증가시킬 수 있도록 복수개의 유동층 반응기로 구성되는 유동층 반응기 클러스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자형 폴리실리콘 제조를 위한 유동층 반응기 클러스터는 본체와, 본체의 내부에 일정 간격을 두고 배치 수용되며 외부로부터 공급되어 내부에서 반응된 공정가스의 반응물을 시드(seed)에 증착시켜 폴리실리콘을 생성하는 복수개의 반응기와, 본체의 내부에 배치되어 각각의 반응기 내부에서 공정가스가 반응하여 시드에 증착되는 반응물을 생성하도록 각각의 반응기를 가열하는 가열유닛을 포함하는 것을

본 발명은 단위 시간당 폴리실리콘 제조량을 증가시킬 수 있도록 복수개의 유동층 반응기로 구성되는 유동층 반응기 클러스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자형 폴리실리콘 제조를 위한 유동층 반응기 클러스터는 본체와, 본체의 내부에 일정 간격을 두고 배치 수용되며 외부로부터 공급되어 내부에서 반응된 공정가스의 반응물을 시드(seed)에 증착시켜 폴리실리콘을 생성하는 복수개의 반응기와, 본체의 내부에 배치되어 각각의 반응기 내부에서 공정가스가 반응하여 시드에 증착되는 반응물을 생성하도록 각각의 반응기를 가열하는 가열유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 복수개의 반응기를 한 개의 본체 내부에 배치함으로써, 단위 시간당 폴리실리콘 생산량을 증가시킬 수 있다.

대표청구항

입자형 폴리실리콘 제조를 위한 유동층 반응기 클러스터에 있어서,본체와;상기 본체의 내부에 일정 간격을 두고 배치 수용되며, 외부로부터 공급되어 내부에서 반응된 공정가스의 반응물을 시드(seed)에 증착시켜 폴리실리콘을 생성하는 복수개의 반응기와;상기 본체의 내부에 배치되어, 각각의 상기 반응기 내부에서 상기 공정가스가 반응하여 상기 시드에 증착되는 상기 반응물을 생성하도록 각각의 상기 반응기를 가열하는 가열유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기 클러스터.

입자형 폴리실리콘 제조를 위한 유동층 반응기 클러스터에 있어서,본체와;상기 본체의 내부에 일정 간격을 두고 배치 수용되며, 외부로부터 공급되어 내부에서 반응된 공정가스의 반응물을 시드(seed)에 증착시켜 폴리실리콘을 생성하는 복수개의 반응기와;상기 본체의 내부에 배치되어, 각각의 상기 반응기 내부에서 상기 공정가스가 반응하여 상기 시드에 증착되는 상기 반응물을 생성하도록 각각의 상기 반응기를 가열하는 가열유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기 클러스터.