초록 ▼

본 발명은 폴리실리콘이 증착 완료 후 제품의 생산에 따른 공정 사이클 시간을 감소시킬 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리실리콘 증착장치는 반응 챔버와, 반응 챔버 내부에 배치되며 전류에 의해 통전되는 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘이 증착되는 N개의 실리콘 코어로드와, 한 쌍의 실리콘 로드를 갖는 N개의 실리콘 코어로드를 수용하고 공정가스가 공급되어 반응하는 M개의 수용홀을 형성하며 M개의 수용홀에 수용된 실리콘 코어로드의

본 발명은 폴리실리콘이 증착 완료 후 제품의 생산에 따른 공정 사이클 시간을 감소시킬 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리실리콘 증착장치는 반응 챔버와, 반응 챔버 내부에 배치되며 전류에 의해 통전되는 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘이 증착되는 N개의 실리콘 코어로드와, 한 쌍의 실리콘 로드를 갖는 N개의 실리콘 코어로드를 수용하고 공정가스가 공급되어 반응하는 M개의 수용홀을 형성하며 M개의 수용홀에 수용된 실리콘 코어로드의 한 쌍의 실리콘 로드를 냉각하는 자켓유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 반응 챔버 내부에 배치되는 복수개의 실리콘 코어로드와 이를 수용하는 자켓유닛을 모듈화 시켜 복수개의 실리콘 코어로드와 자켓유닛의 상호 분리 시간을 단축시킬 수 있으므로, 폴리실리콘 제조 공정 사이클을 단축함과 더불어 장비의 세척 또는 세정 시간을 단축시킬 수 있다.

대표청구항

반응 챔버와;상기 반응 챔버 내부에 배치되며 전류에 의해 통전되는 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어, 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘이 증착되는 N개의 실리콘 코어로드와;한 쌍의 상기 실리콘 로드를 갖는 N개의 상기 실리콘 코어로드를 수용하고 공정가스가 공급되어 반응하는 M개의 수용홀을 형성하며, M개의 상기 수용홀에 수용된 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 냉각하는 자켓유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 증착장치.

반응 챔버와;상기 반응 챔버 내부에 배치되며 전류에 의해 통전되는 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어, 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘이 증착되는 N개의 실리콘 코어로드와;한 쌍의 상기 실리콘 로드를 갖는 N개의 상기 실리콘 코어로드를 수용하고 공정가스가 공급되어 반응하는 M개의 수용홀을 형성하며, M개의 상기 수용홀에 수용된 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 냉각하는 자켓유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 증착장치.