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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0048727 (2012-05-08) | |
공개번호 | 10-2013-0125183 (2013-11-18) | |
등록번호 | 10-1445590-0000 (2014-09-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120048727 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-05-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
수소 센서 및 수소 센서의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 수소 센서 제조방법은 탄성기판의 표면에 전이금속 박막 또는 상기 전이금속의 합금 박막을 형성하는 단계, 상기 기판 표면에 형성된 상기 박막에 복수 개의 나노 갭을 형성하는 단계 및 상기 박막 상에 수소 분자를 선택적으로 투과시킬 수 있는 배리어를 형성하는 단계를 포함한다.
탄성기판의 표면에 x가 0.85 이상 0.96 이하를 만족하는 PdxNi1-x 합금 박막을형성하는 단계와;상기 기판 표면에 형성된 상기 박막에 복수 개의 나노 갭을 형성하는 단계; 및상기 박막 상에 수소 분자를 선택적으로 투과시킬 수 있는 배리어를 형성하는 단계를 포함하는 수소 센서 제조 방법.
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