초록 ▼

본 발명은 클린룸 제습 공조 장치에 관한 것으로, 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소 부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있고, 기존의 공조기를 그대로 활용함으로써, 공

본 발명은 클린룸 제습 공조 장치에 관한 것으로, 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소 부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있고, 기존의 공조기를 그대로 활용함으로써, 공조기의 제습 유닛을 통한 냉각 제습 방식 또는 컴프레셔의 건조 공기를 이용한 제습 방식을 외부 환경에 따라 선택적으로 적용할 수 있어 더욱 효율적일 수 있는 클린룸 제습 공조 장치를 제공한다.

대표청구항 ▼

내부 공간에 양압이 유지되도록 일측에 에어 댐퍼가 장착되는 클린룸 챔버;공기 유입구와 공기 유출구가 형성되고 내부에 송풍팬이 구비되어 상기 공기 유입구를 통해 상기 클린룸 챔버 내부 공간의 공기를 흡입하여 다시 상기 공기 유출구를 통해 상기 클린룸 챔버 내부 공간으로 공기를 송풍하며, 송풍되는 공기를 제습할 수 있도록 제습 유닛이 구비되는 공조기;상기 공조기로부터 송풍되는 공기를 소음 저감 방식으로 배출하여 공기를 순환시키도록 상기 공조기의 상기 공기 유출구와 순환 배관을 통해 연결되는 다수개의 소음기;상기 공조기에 건조 공기를 공

내부 공간에 양압이 유지되도록 일측에 에어 댐퍼가 장착되는 클린룸 챔버;공기 유입구와 공기 유출구가 형성되고 내부에 송풍팬이 구비되어 상기 공기 유입구를 통해 상기 클린룸 챔버 내부 공간의 공기를 흡입하여 다시 상기 공기 유출구를 통해 상기 클린룸 챔버 내부 공간으로 공기를 송풍하며, 송풍되는 공기를 제습할 수 있도록 제습 유닛이 구비되는 공조기;상기 공조기로부터 송풍되는 공기를 소음 저감 방식으로 배출하여 공기를 순환시키도록 상기 공조기의 상기 공기 유출구와 순환 배관을 통해 연결되는 다수개의 소음기;상기 공조기에 건조 공기를 공급하여 상기 클린룸 챔버 내부 공간에 건조 공기가 송풍되도록 별도의 공급 배관을 통해 상기 공조기와 연결되는 컴프레셔;상기 공급 배관을 개폐하도록 장착되는 공급 배관 개폐 밸브; 및조작부를 통한 사용자의 선택 조작에 따라 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 제 1 제습 모드 또는 제 2 제습 모드로 선택적으로 제습되도록 상기 에어 댐퍼, 공조기 및 공급 배관 개폐 밸브의 동작 상태를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제 1 제습 모드에서는 상기 공급 배관 개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 제습 유닛이 작동되어 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 상기 제습 유닛을 통해 건조 상태로 유지되고, 상기 제 2 제습 모드에서는 상기 에어 댐퍼가 차단되고 상기 제습 유닛의 작동이 중단되며 상기 공급 배관 개폐 밸브가 개방되어 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 상기 컴프레셔로부터 공급되는 건조 공기에 의해 건조 상태로 유지되며, 상기 공급 배관에는 상기 컴프레셔로부터 공급되는 건조 공기를 냉각 및 건조시킬 수 있도록 별도의 쿨러 및 드라이어가 각각 장착되며, 상기 순환 배관에는 별도의 인젝터가 연통 장착되고, 상기 인젝터는 상기 컴프레셔로부터 건조 공기를 공급받아 상기 순환 배관으로 배출할 수 있도록 별도의 연결 배관을 통해 상기 공급 배관과 연결되고, 상기 연결 배관에는 상기 연결 배관을 개폐할 수 있는 연결 배관 개폐 밸브가 장착되며,상기 인젝터에는 상기 클린룸 챔버 내부 공기를 흡입할 수 있도록 흡입홀이 형성되는 흡입 케이스가 별도의 흡입 배관을 통해 연결되고, 상기 인젝터가 건조 공기를 배출하는 과정에서 발생하는 압력 강하 현상에 의해 상기 클린룸 챔버 내부 공기가 상기 흡입 케이스 및 흡입 배관을 통해 상기 인젝터로 유입되어 건조 공기와 함께 배출되며, 상기 흡입 배관에는 흡입되는 공기로부터 수분을 제거할 수 있도록 유수 분리 필터가 장착되고,상기 연결 배관 개폐 밸브는 상기 조작부를 통한 사용자의 조작에 따라 상기 제 2 제습 모드에서 개방되도록 상기 제어부에 의해 동작 제어되고, 상기 연결 배관 개폐 밸브가 개방 작동하는 경우, 상기 공조기는 작동 중단되도록 상기 제어부에 의해 동작 제어되며, 상기 인젝터는건조 공기가 배출되도록 내부에 일측 방향으로 배출 유로가 형성되고, 상기 배출 유로의 중단에는 상기 흡입 배관과 연결되는 흡입 유로가 상기 배출 유로와 연통되게 형성되는 인젝터 블록;상기 인젝터 블록의 배출 유로의 일단에 결합되는 유입 포트; 및상기 인젝터 블록의 배출 유로의 타단에 결합되는 배출 포트를 포함하고, 상기 배출 유로는 상기 흡입 유로와 연통되는 지점에서 직경이 작아지는 네크부가 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 제습 공조 장치.