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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0054653 (2012-05-23) | |
공개번호 | 10-2013-0130963 (2013-12-03) | |
등록번호 | 10-1379799-0000 (2014-03-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120054653 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-05-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
실시예의 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치는, 단결정 실리콘 잉곳을 성장시키기 위한 용융 실리콘을 담는 도가니와, 도가니 내의 실리콘이 용융되도록, 도가니에 열을 가하는 히터와, 단결정 실리콘 잉곳을 회전시키면서 인상시키는 인상부와, 단결정 실리콘 잉곳의 회전 각속도를 계산하는 회전 각속도 계산부와, 계산된 회전 각속도를 목표 회전 각속도와 비교하고, 비교된 결과를 각속도 에러값으로서 출력하는 제1 비교부와, 각속도 에러값에 따라, 성장되는 단결정 실리콘 잉곳의 직경이 센싱되는 부분에 용융 실리콘의 유속을 감소시키는 유속 제어부와, 단
단결정 실리콘 잉곳을 성장시키기 위한 용융 실리콘을 담는 도가니;상기 도가니 내의 실리콘이 용융되도록, 상기 도가니에 열을 가하는 히터;상기 단결정 실리콘 잉곳을 회전시키면서 인상시키는 인상부;상기 단결정 실리콘 잉곳의 회전 각속도를 계산하는 회전 각속도 계산부;상기 계산된 회전 각속도를 목표 회전 각속도와 비교하고, 비교된 결과를 각속도 에러값으로서 출력하는 제1 비교부;상기 각속도 에러값에 따라, 상기 단결정 실리콘 잉곳의 직경이 센싱되는 부분에 상기 용융 실리콘의 유속을 감소시키는 유속 제어부; 및상기 단결정 실리콘 잉곳의 직
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