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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0061799 (2012-06-08) | |
공개번호 | 10-2013-0138024 (2013-12-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120061799 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-06-08) | |
심사진행상태 | 포기(등록료 미납) | |
법적상태 | 포기 |
본 발명은 폴리실리콘이 증착 완료 후 제품의 생산에 따른 공정 사이클 시간을 감소시킬 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리실리콘 증착장치는 반응 챔버와, 반응 챔버 내부에 배치되며 전류에 의해 통전되는 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘이 증착되는 N개의 실리콘 코어로드와, 한 쌍의 실리콘 로드를 갖는 N개의 실리콘 코어로드를 수용하고 공정가스가 공급되어 반응하는 M개의 수용홀을 형성하며 M개의 수용홀에 수용된 실리콘 코어로드의
반응 챔버와;상기 반응 챔버 내부에 배치되며 전류에 의해 통전되는 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어, 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘이 증착되는 N개의 실리콘 코어로드와;한 쌍의 상기 실리콘 로드를 갖는 N개의 상기 실리콘 코어로드를 수용하고 공정가스가 공급되어 반응하는 M개의 수용홀을 형성하며, M개의 상기 수용홀에 수용된 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 냉각하는 자켓유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 증착장치.
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