최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2012-0073271 (2012-07-05) | |
공개번호 | 10-2014-0006420 (2014-01-16) | |
등록번호 | 10-1452262-0000 (2014-10-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120073271 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2012-07-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 나노 수준의 파우더에 얇은 박막을 코팅하는 파우더 코팅 장치 및 코팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 파우더의 균일하고 높은 수준의 박막을 성장시킬 수 있어 코팅 시 고품질의 코팅막을 형성할 수 있으며, 특히 원형을 가진 나노 파우더가 아니더라도 모든 면에 대한 코팅이 가능한 파우더 코팅 장치 및 코팅 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내에 회전가능하고 탈착가능하게 설치되며, 파우더를 코팅하는 리액터(reactor); 상기 리액터를 회전 제어하는
진공 챔버;상기 진공 챔버 내에 회전가능하고 탈착가능하게 설치되며, 파우더를 코팅하는 리액터(reactor);상기 리액터를 회전 제어하는 회전 유닛;상기 리액터 내로 공정 가스를 제공하기 위한 공정가스 공급유닛;상기 리액터 주위에 설치되어 공정 요구 온도를 제공하는 히터 유닛; 및상기 진공 챔버 내부를 진공 상태로 하며, 상기 공정가스 공급유닛에 의해 제공된 공정가스를 진공 챔버로부터 배기시키기 위한 진공/배기 유닛을 포함하며,상기 리액터의 내부에는 그 리액터의 회전으로 내부의 파우더를 견인하며, 파우더가 자중 낙하를 통해 교반되도
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.