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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2012-0115964 (2012-10-18) | |
| 등록번호 | 10-1373421-0000 (2014-03-05) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020120115964 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2012-10-18) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 소멸 |
일 실시예에 따른 웨이퍼 절단 장치는 웨이퍼의 상부에 위치되어 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 상기 레이저 발생기 및 웨이퍼 사이에 배치되어 레이저 빔이 통과할 수 있는 복수 개의 슬릿을 포함하는 슬릿마스크 및 상기 슬릿마스크 및 상기 웨이퍼 사이에 배치되어 상기 슬릿마스크를 통과한 레이저 빔을 굴절시키는 렌즈를 포함하며, 상기 슬릿의 개수에 대응하는 수의 선 배열 레이저 빔이 상기 웨이퍼 상에 조사되고, 상기 선 배열 레이저 빔 사이에 상기 웨이퍼에 가해진 초기 균열이 전파되어 상기 웨이퍼를 절단할 수 있다.
웨이퍼의 상부에 위치되어 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기;상기 레이저 발생기 및 웨이퍼 사이에 배치되어 레이저 빔이 통과할 수 있는 복수 개의 슬릿을 포함하는 슬릿마스크; 및상기 슬릿마스크 및 상기 웨이퍼 사이에 배치되어 상기 슬릿마스크를 통과한 레이저 빔을 굴절시키는 렌즈;를 포함하며,상기 슬릿의 개수에 대응하는 수의 선 배열 레이저 빔이 상기 웨이퍼 상에 조사되고, 상기 선 배열 레이저 빔 사이에 초기 균열이 제공되며, 상기 레이저 빔의 조사가 시작되면 상기 초기 균열의 끝부분에 열 응력이 집중되면서 상기 웨이퍼에 제공된
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