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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0143719 (2012-12-11) | |
공개번호 | 10-2014-0075415 (2014-06-19) | |
등록번호 | 10-1444927-0000 (2014-09-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120143719 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-12-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명의 일 실시예는 스테이지에 설치되는 기판과 슬롯 다이 노즐 사이의 갭을 정밀하게 제어하는 슬롯 코터에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 코터는, 기판이 설치되는 스테이지, 상기 스테이지의 폭 방향 양측에 설치되는 승강부재, 상기 스테이지의 상방에서 상기 폭 방향으로 가로질러 상기 승강부재에 설치되는 마운트 블록, 상기 마운트 블록에 설치되는 슬롯 다이 노즐, 상기 폭 방향에 교차하는 상기 슬롯 다이 노즐의 진행 방향 양측에서 상기 스테이지에 설치되어, 송신신호 중 상기 슬롯 다이 노즐에 차단되지 않은 수신신호로
기판이 설치되는 스테이지;상기 스테이지의 폭 방향 양측에 설치되는 승강부재;상기 스테이지의 상방에서 상기 폭 방향으로 가로질러 상기 승강부재에 설치되는 마운트 블록;상기 마운트 블록에 설치되는 슬롯 다이 노즐;상기 폭 방향에 교차하는 상기 슬롯 다이 노즐의 진행 방향 양측에서 상기 스테이지에 설치되어, 송신신호 중 상기 슬롯 다이 노즐에 차단되지 않은 수신신호로 상기 슬롯 다이 노즐과 상기 기판 사이의 제1갭을 검출하는 비접촉 센서;상기 슬롯 다이 노즐의 일측에서 상기 마운트 블록에 설치되고 승강하여 상기 기판에 접촉되어 상기 기판
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