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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0153609 (2012-12-26) | |
공개번호 | 10-2014-0084477 (2014-07-07) | |
등록번호 | 10-1956135-0000 (2019-03-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120153609 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-07-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
그래핀 합성장치가 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 그래핀 합성장치는 기판으로 플라즈마 아크를 발생시키는 플라즈마 아크 발생유닛과, 상기 기판 상에서 상기 플라즈마 아크 발생유닛에 의해 플라즈마 아크가 발생된 영역에 탄소원을 공급하는 탄소원 공급유닛과, 상기 탄소원 공급유닛에 의해 탄소원이 상기 기판의 표면에 형성된 상태에서 레이저를 조사하여 탄소원에 포함된 탄소원자를 해리시키는 레이저 조사유닛을 포함할 수 있다.
기판으로 플라즈마 아크를 발생시키는 플라즈마 아크 발생유닛,상기 기판 상에서 상기 플라즈마 아크 발생유닛에 의해 플라즈마 아크가 발생된 영역에 탄소원을 공급하는 탄소원 공급유닛, 및상기 탄소원 공급유닛에 의해 탄소원이 상기 기판의 표면에 형성된 상태에서 레이저를 조사하여 탄소원에 포함된 탄소원자를 해리시키는 레이저 조사유닛을 포함하는, 그래핀 합성장치.
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