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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0156858 (2012-12-28) | |
공개번호 | 10-2014-0086410 (2014-07-08) | |
등록번호 | 10-1420540-0000 (2014-07-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120156858 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-12-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 반도체 칩 제조용 캐리어 플레이트에 관한 것이다.본 발명에 따른 반도체 칩 제조용 캐리어 플레이트는, 캐리어 플레이트의 일정 영역에 마련되며, 금속판에 반도체 칩의 삽입 및 고정을 위한 다수의 관통홀이 형성되어 있는 칩 홀딩 영역; 및 상기 칩 홀딩 영역의 외곽에 마련되며, 흡착 패드에 의한 흡착 및 고정을 위한 흡착 영역을 포함하고, 상기 흡착 영역의 상면 및 하면에는 모재(금속판)와 실리콘의 접착력을 증대시키기 위한 다수의 요홈이 각각 형성된다.이와 같은 본 발명에 의하면, 캐리어 플레이트의 칩 홀딩 영역 외곽의 흡착
반도체 칩 제조용 캐리어 플레이트에 있어서,상기 캐리어 플레이트의 일정 영역에 마련되며, 금속판에 반도체 칩의 삽입 및 고정을 위한 다수의 관통홀이 형성되어 있는 칩 홀딩 영역; 및 상기 칩 홀딩 영역의 외곽에 마련되며, 흡착 패드에 의한 흡착 및 고정을 위한 흡착 영역을 포함하고, 상기 흡착 영역의 상면 및 하면에는 모재(금속판)와 실리콘의 접착력을 증대시키기 위한 다수의 요홈이 각각 형성되되, 상면의 요홈들과 하면의 요홈들이 서로 지그재그로 엇갈리는 위치에 형성된 반도체 칩 제조용 캐리어 플레이트.
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