초록 ▼

본 발명은 웨이퍼 픽업 시에 웨이퍼와 풋 사이의 충격력을 저감시킬 수 있는 웨이퍼 핸드링 완드에 관한 것이다.본 발명은 베르누이 원리에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 하면에 픽업(pick-up)하는 몸체(body); 상기 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 몸체 이송용 암(body-arm); 상기 몸체의 하측 둘레에 구비되고, 상기 몸체의 하면에 픽업된 웨이퍼의 수평방향 위치를 조절하는 한 쌍의 풋(foot); 상기 풋을 전후 방향으로 이송시키는 풋 이송용 암(foot-arm) 및 상기 몸체 이송용 암과 풋 이송용 암에 구동력을 제공하는

본 발명은 웨이퍼 픽업 시에 웨이퍼와 풋 사이의 충격력을 저감시킬 수 있는 웨이퍼 핸드링 완드에 관한 것이다.본 발명은 베르누이 원리에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 하면에 픽업(pick-up)하는 몸체(body); 상기 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 몸체 이송용 암(body-arm); 상기 몸체의 하측 둘레에 구비되고, 상기 몸체의 하면에 픽업된 웨이퍼의 수평방향 위치를 조절하는 한 쌍의 풋(foot); 상기 풋을 전후 방향으로 이송시키는 풋 이송용 암(foot-arm) 및 상기 몸체 이송용 암과 풋 이송용 암에 구동력을 제공하는 구동장치를 포함하는 웨이퍼 핸들링 완드를 제공한다.

대표청구항 ▼

베르누이 원리에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 하면에 픽업(pick-up)하는 몸체(body);상기 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 몸체 이송용 암(body-arm);상기 몸체의 하측 둘레에 구비되고, 상기 몸체의 하면에 픽업된 웨이퍼의 수평방향 위치를 조절하는 한 쌍의 풋(foot);상기 풋을 전후 방향으로 이송시키는 풋 이송용 암(foot-arm) 및상기 몸체 이송용 암과 풋 이송용 암에 구동력을 제공하는 구동장치를 포함하고,상기 풋 이송용 암은, 상기 웨이퍼의 픽업 시에 상기 풋들을 상기 웨이퍼의 외주단과 설정 시간 이상 접촉하도

베르누이 원리에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 하면에 픽업(pick-up)하는 몸체(body);상기 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 몸체 이송용 암(body-arm);상기 몸체의 하측 둘레에 구비되고, 상기 몸체의 하면에 픽업된 웨이퍼의 수평방향 위치를 조절하는 한 쌍의 풋(foot);상기 풋을 전후 방향으로 이송시키는 풋 이송용 암(foot-arm) 및상기 몸체 이송용 암과 풋 이송용 암에 구동력을 제공하는 구동장치를 포함하고,상기 풋 이송용 암은, 상기 웨이퍼의 픽업 시에 상기 풋들을 상기 웨이퍼의 외주단과 설정 시간 이상 접촉하도록 제어하는 웨이퍼 핸들링 완드.