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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

표면 처리제 및 표면 처리 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/027
  • G03F-007/075
  • G03F-007/085
출원번호 10-2013-0013385 (2013-02-06)
공개번호 10-2013-0092468 (2013-08-20)
등록번호 10-2111803-0000 (2020-05-11)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2012-027136 (2012-02-10);일본(JP) JP-P-2012-086726 (2012-04-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130013385
발명자 / 주소
  • 오하시 다쿠야 / 일본 가나가와켕 가와사키시 나카하라쿠 나카마루코 ***반치 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 나이
  • 스가와라 마이 / 일본 가나가와켕 가와사키시 나카하라쿠 나카마루코 ***반치 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 / 일본국 가나가와껭 가와사끼시 나까하라구 나까마루꼬 ***반찌
대리인 / 주소
  • 특허법인코리아나
심사청구여부 있음 (2017-12-21)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

기판 표면의 소수화 처리에 사용되는 표면 처리제에, 디메틸아미노기를 갖는 특정한 구조의 모노실란 화합물 또는 비스실란 화합물을 함유시킨다.

대표청구항

기판 표면의 소수화 처리에 사용되고, 하기 식 (2) 로 나타내는 화합물을 함유하는 표면 처리제.R2b[N(CH3)2]3-bSi-R4-SiR3c[N(CH3)2]3-c… (2) (식 (2) 에 있어서, R2 및 R3 은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1 ∼ 4 의 직사슬 알킬기 또는 탄소수 3 ∼ 4 의 분기사슬 알킬기이고, R4 는 탄소수 1 ∼ 16 의 직사슬 알킬렌기 또는 탄소수 3 ∼ 16 의 분기사슬 알킬렌기이고, b 및 c 는 각각 독립적으로 1 또는 2 의 정수이다)

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [일본] MATERIAL AND METHOD FOR FORMING FILM AND ELEMENT | MACHIDA HIDEAKI, NODA NAOTO
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  2. [국제] WAFER CLEANING METHOD | SAITO MASANORI, ARATA SHINOBU, SAIO TAKASHI, KUMON SOICHI,
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